基于DSP的纳米定位平台控制器的应用研究-模式识别与智能系统专业论文.docxVIP

哈尔滨工程大学学位论文原创性声明 哈尔滨工程大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：本论文的所有工作，是在导师的指导下，由 作者本人独立完成的。有关观点、方法、数据和文献的引用已在 文中指出，并与参考文献相对应。除文中已注明引用的内容外， 本论文不包含任何其他个人或集体已经公开发表的作品成果。对 本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式 标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 作者(签字)：历淋尹环 日期： 7,,oro年乡月，用 哈尔滨工程大学 学位论文授权使用声明 本人完全了解学校保护知识产权的有关规定，即研究生在校 攻读学位期间论文工作的知识产权属于哈尔滨工程大学。哈尔滨 工程大学有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件。 本人允许哈尔滨工程大学将论文的部分或全部内容编入有关数据 库进行检索，可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本 学位论文，可以公布论文的全部内容。同时本人保证毕业后结合 学位论文研究课题再撰写的论文一律注明作者第一署名单位为哈 尔滨工程大学。涉密学位论文待解密后适用本声明。 本论文(囱在授予学位后即可 口在授予学位12个月后 口 解密后)由哈尔滨工程大学送交有关部门进行保存、汇 、 作者(签字)：乃弓屯L习来 导师(签字)： 日期：例0年；月，姆 伽fo年3,9，媚 哈尔滨I：科人学硕十学何论文摘 哈尔滨I：科人学硕十学何论文 摘 要 随着科学技术的发展和研究领域的不断扩展，许多领域越来越需要纳米 级定位系统，如光纤对接、超精密机械加工、微外科手术、扫描探针显微镜 系统、微型机电系统的制造与检测，以及半导体制板的精密定位等领域。压 电陶瓷驱动器是一种理想的微位移驱动器件，被广泛应用于微定位、微操作 等领域。但同时压电陶瓷驱动器也存在着迟滞、蠕变和位移非线性等缺点， 这些缺点使得对其控制变得困难。本文将压电陶瓷驱动器用于精密定位平台， 其中的定位平台控制器是压电陶瓷微位移器应用中的关键部件，越来越受到 国内外研究机构的关注。但目前国内现有的压电陶瓷定位平台控制器普遍采 用单片机作为控制核心，单片机速率低、功耗大，难以进行实时控制，更无 法集成更多的功能。为提高平台的定位性能，本文对定位平台控制器进行了 如下研究。 论文针对压电陶瓷定位平台控制器存在的上述问题，采用DSP技术与EDA 技术相结合的方式成功地设计了定位平台控制器。首先设计了控制器各个部 分的硬件模块，并给出了原理图。然后，本着实用而且方便操作的原则设计了 底层软件和应用软件。为克服压电陶瓷驱动器自身缺陷的影响，提高其定位 精度，本文采用了模糊自整定PID控制方法，并阐述了其控制思想和原理。 最后对压电陶瓷定位平台控制器的性能进行研究，设计了包括该控制器、驱 动器电源、微位移传感器等环节在内的实验系统。实验结果表明，由于模糊 自整定PID控制采用模糊控制器对PID参数进行在线自动调整，系统具有良 好的动态和静态性能，在一定位移范围内可以达到lOnm的定位精度。 本文所设计的控制器具有输出精度高、响应速度快、稳定性好、结构简 单、调试方便、功耗低等优点。为进一步研制小型化、集成化、通用化的定 位系统提供了理论和实际经验，研究成果具有一定的学术价值和实际意义。 关键词：压电陶瓷；定位平台控制器；DSP；PID控制；模糊控制 ABSTRACTW ABSTRACT W 1th the development of modem science and technology，nano-positioning system 1snceded more and more urgently in many areas，such aS舶er．optic connection,ultra。precision machining，micro·surgery，SPM system．test of mlcro-electr0。mechanical systems，semiconductor plate precision positioning etc． 1he piezoelectric actuator is a perfect micro·positioning drive element．Because of its good performance，it was broadly used in applications that require precise con仃01．HoweVer,the position response of piezoelectric actL哦or shows s仃on2 nyste坨sls，creep and nonlinearity