机电集成静电谐波微型传动系统的Casimir力和强迫响应-燕山大学学报.PDFVIP

卷 期 燕山大学学报 年 月 文章编号：1007-791X (2011) 04-0290-06 机电集成静电谐波微型传动系统的 Casimir 力和强迫响应 许立忠 ，赵 丹 （燕山大学 机械工程学院，河北 秦皇岛 ） 摘 要：提出一种机电集成静电谐波微型传动系统。随着传动尺寸的减小，分子力的影响变大，应该予以考虑。 本文给出了同时考虑静电力和 力时机电集成静电谐波微型传动系统对于电压扰动的强迫响应方程。运 用该方程，研究了 力对系统强迫响应的影响规律。结果表明： 力对于系统强迫响应具有 要影 响，随着柔轮与定子间初始间隙的减小和电压的增大， 力对系统强迫响应的影响变大。研究结果对于该 种传动系统的进一步小型化具有指导意义。 关键词：机电集成；微型传动系统；强迫响应； 力 中图分类号：TH113.8 文献标识码：A DOI：10.3969/j .issn.1007-791X .20 11.04.002 引言 减小，分子力的作用变得越来越明显。 力 是一种 要的分子力，是由于电磁场基态量子波动 微型机电系统 而产生的两固体间吸引力 。 力对于静电 在工业、信息通信、国防、航空航 纳米驱动器的失稳参数、非线性特性、稳定性和分 天、航海、医疗、生物工程、农业、环境和家庭服 叉等现象均具有 要影响 。本文研究了 务等领域具有潜在的应用前景。 装置要求 力对于机电集成静电谐波微型传动系统强迫响应 机、电和控制技术的高度集成 。本文提出一种 的影响规律，研究结果对于该种传动系统的进一步 机电集成静电谐波微型传动系统，该传动系统是将 小型化具有指导意义。 静电驱动电机与谐波传动相结合，集传动、驱动和 控制于一体的机电集成微型广义复合传动系统。该 静电力和 力作用下的柔轮位移 传动系统主要由一个微柔轮和一个由若干块相互 静电力和 力作用下的柔轮如图 所 绝缘电极构成的定子组成 （见图 ），当定子电极 示。柔轮外面的定子由若干个互相绝缘的电极组 和柔轮之间顺序施加电压后，产生的旋转电场将促 成，每个电极的中心角是 。在定子和柔轮间施加 使柔轮发生周期性的弹性变形，从而带动与之相联 电压时，在角度 范围内产生施加于柔轮上的分布 的支撑轴旋转。和其它谐波电机相比，不需要加工 电场力，见图 ， 表示单位长度静电力。同 柔轮上的齿形，结构简单、加工方便 。和压电驱 时，整个柔轮上作用有分布 力，见图 ， 动及电磁驱动原理相比 ，静电谐波驱动不需要 表示单位长度 力。 附加电磁线圈元件以及特殊压电陶瓷材料，更有利 于机电装置的微型化。 柔轮上单位长度静电力 可以计算为