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绪论 以液晶为代表的平板显示器和半导体集成电路是信息产 业的两块基石,而液晶涉及的范围更广,带动的基础产业更多,发展潜力更大,具有无限商机。高效率的制作质量优良,式样新颖,价格便宜,广受市场欢迎的平板显示器产品,是企业核心竞争力的集中体现。 液晶显示器产业是一个包罗万象的庞大系统,既需要实力雄厚的跨国公司,更要求有大量的中小型企业作为后盾。没有坚实的基础,没有长期的研究,开发及产业化经验的积累要想在高手如林的平板显示器行业中占有一席之地是很不容易的。作为一个参与者,要想在产业化大潮中跟上步伐,参与竞争,并有所作为,绝非易事,首先需要对液晶显示器的原理,设计,制程,性能改进与提高有比较透彻的了解。其中最核心的是“TFT-LCD产品的制作”,掌握了这方面的知识和本领,可以“以不变应万变”。 从这两个方面本课程的内容体系就分为两条线:一条主线和一条副线 1、副线:无源液晶显示屏的设计(以由字段和点阵构成的屏为例),内容包括: 液晶显示器基本知识;外观设计;显示内容设计;逻辑走线设计;掩模版设计(副线) 2、主线:有源矩阵液晶显示屏设计(以TFT为例),内容包括:液晶显示基本知识;TFT操作原理;参数设计与图形绘制;CF的制程与设计 3、设计对象:两块玻璃之间(cell盒) 预期结果 通过本课程的学习,要求大家不仅要熟悉液晶显示器件的原理,工艺流程,基本概念,更要掌握设计的基本思路与考量,基于相关软件,能够独立完成ARRAY基板,CF基板,CELL盒的设计。 参考书籍 1、田民波,叶锋 《TFT液晶显示原理与技术》科学出版社 2、田民波,叶锋 《TFT-LCD面板设计与构装技术》科学出版社 3、戴亚翔,《TFT-LCD》面板的驱动与设计》清华大学出版社 4、电子行业职业技能鉴定指导中心 组编 《液晶显示器件制造技术》人民邮电出版社 第一章 液晶显示基本知识 1、液晶显示器件的基本结构与主要部件 2、LCD制造工艺 3、液晶光阀及其控制 4、液晶电容 5、TFT-LCD操作原理及架构 6、名词解释 第一节 液晶显示器件的基本结构与主要部件 无源矩阵基本结构 第二节 液晶显示器件的制造工艺流程(参考教材第7章) 1、玻璃基板工程 TFT:下基板工程:ARRAY制程(光刻技术,镀膜技术) 上基板工程:CF制程(光刻技术,涂膜技术) 无源器件:信号电极基板和扫描电极基板(光刻技术) 2、液晶盒组装工程 摩擦取向;隔离子散布;涂封框胶;对位压合;液晶灌注;贴偏光片 3、模块组装工程 驱动IC的组装(TAB,COB,COG);背光源的组装 1.1 ARRAY制程 在array基板上,主要是由显示图像的像素,控制向像素写入数据的薄膜三极管以及存储数据信号的电容器组成。因此array制程就是利用薄膜沉积和光刻技术在玻璃基板上形成薄膜状态的TFT,电容和像素电极。 TFT的结构及工作原理(P110-111) 薄膜绝缘栅场效应晶体管,简称薄膜晶体管或TFT(Thin Film Transistor),它是用薄膜沉积技术制作在绝缘衬底上,由一个源极(S),一个漏极(D),一个栅极(G),一层半导体和一层绝缘体组成,其中源,漏极必须与半导体具有欧姆接触。具体结构可以有很多种,但是基本结构只有两种:即平面型结构和交错(交叠)型结构,如图所示,平面结构是S,D,G电极都配置在半导体之上或之下, 几乎在同一平面上,交错结构中的S,D电极在半导体的一侧,G极在半导体的另一侧,在实际应用中究竟使用哪种结构,根据具体的应用,材料,工艺和设备条件来选择。在TFT中,最常用的绝缘材料是SiOx,,SiNx,Al2O3,电极材料是铝,金,镍-铬,钼-钽等,半导体材料有CdS,CdSe,a-Si和p-Si等,基片材料有玻璃,石英,蓝宝石等。 平面型结构 工作原理:TFT的工作原理是以控制源,漏电极间导电沟道的电阻为基础的 ,在TFT或任何其它的绝缘栅场效应管(如MOS管)中,电流被调制的方法都可以用一个平板电容器来说明。如图所示,在两个金属极板之间夹一层绝缘介质组成一个平板电容器当电压加到A和B之间时,电子从上电极被拉出,被迫流入下电极,而下电极的电导与其中存在的电子总数密切相关,由于电子的增加,其中的电导就应该增大。然而由于金属极板中已经有太多的电子,所以电导的变化不大,如果将金属下电极用半导体材料代替,这是由于在半导体极板中的初始电子数与在两极板加电压所注入的电子数相比是比较少的,因此若在A,B之间加一个很小的控制电压就可以使半导体膜层中的电导增加几个数量级,从而使负载电阻R中的电流增大。这就是TFT的放大特性。图中
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