基于MEMS红外光源的长光程甲烷气体检测系统设计-电路与系统专业论文.docxVIP

中北大学学位论文 中北大学学位论文 基于 MEMS 红外光源的长光程甲烷气体检测系统设计 摘要 随着国民经济的快速发展，由石油化工、电力电气以及煤炭行业等产生的大量工业 废气对环境的污染越来越严重。由此而产生的温室效应、酸雨以及大气臭氧层空洞等大 气污染现象早已屡见不鲜。近年来，人们对生活环境与健康状况的关注意识日趋增强， 对空气质量的检测也提出了更高的要求。如何及时、准确地实现易燃、易爆以及有毒有 害气体的高灵敏度、高可靠性检测愈来愈引起人们的关注。因此，设计出一种具有灵敏 度高、响应速度快、制备工艺简单以及价格低廉等特性的智能化便携式红外气体传感器 具有重大意义。 本课题以甲烷作为目标气体，研究了易燃、易爆以及有毒有害气体的高灵敏度红外 检测系统。该检测系统基于红外光谱吸收原理，结合双波长单光路的差分检测方法，采 用了一种具有波长范围宽、调制频率高、寿命长等特点的小体积微机电系统 （Micro-Electro-Mechanic System, MEMS）红外光源作为红外辐射源，以积分球为吸收 气室，有效地实现了甲烷气体浓度的高精度检测。 本论文的主要研究内容如下： （1）与传统的红外光源相比较，MEMS 红外光源具有体积小、波长覆盖范围宽、 调制频率高、价格低廉等优点，很好地满足了红外检测系统对于光源的要求。然而，由 于 MEMS 红外光源为具有郎伯分布的面光源，能量太过于分散，导致可以直接利用的 光能量太少。要想使其更好地应用于红外传感系统中，尽可能发挥出其自身的优势，就 需要对 MEMS 红外光源的光场进行一定的整形以收集红外能量。本论文研究出了两种 不同的光学系统：基于自由曲面反光杯的光学系统和基于非球面准直透镜的光学系统， 并使用光学设计软件 TracePro 与 Zemax 分别建立了仿真模型对上述设计理论结果进行 验证。最终使得 MEMS 红外光源的发散角度从 180°压缩到了 15°左右，大大提高了红外 光能量的利用效率。 （2）采用积分球作为气体吸收气室，光线进入内壁涂有高反射率膜材料的积分球 后，在球壁之间来回反射，有效增加了红外光与被测气体的有效作用距离，从而提高了 红外传感系统的检测灵敏度及精度。但是，红外光波在积分球内的每一次传播都具有随 机性，很难像计算传统气室有效光程那样，将光波反射次数与气室的基本长度作乘法运 算就能够得出光波与被测气体的有效传播距离。本论文中建立了积分球吸收气室的数学 模型，根据光在传输过程中光通量守恒的原理，推导出了积分球吸收气室的等效光程， 解决了积分球气室等效光程的计算难题。 （3）提出了传感系统的外围电路设计方案，为后续研制出完整的红外检测系统奠 定了一定的基础，主要包括 MEMS 红外光源的驱动电路、信号调理电路、A/D 转换控 制电路以及整个电路系统的供电电路等模块。通过 FPGA 芯片产生的脉压调制信号实现 了 MEMS 红外光源的有效驱动，并对红外探测器输出的双路电压信号进行滤波和放大 处理后，经 A/D 转换控制模块将其模拟量转换为了数字量，最后通过 USB 传输模块将 数字量上传给上位机进行数据处理及显示，并介绍了整个电路系统的供电模块。 关键词： 红外光谱吸收原理，MEMS 红外光源，积分球吸收气室，FPGA 主控芯片 Long optical path methane gas detection based on MEMS infrared light source Abstract Because of the rapid development of national economy, a large number of industrial waste gas produced by the petroleum chemical industry, electrical power and coal industry have a serious effect on the environment pollution. It is common to come across some atmospheric pollution phenomenon, such as the greenhouse effect, acid rain and atmospheric ozone hole. Nowadays, living environment and its impact to human health is increasingly becoming a concern in our society. Therefore, the quality monitoring of the air is highly demanded. How to