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第九章 扫描电子显微镜 ;Light vs Electron Microscope;扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。 扫描电子显微镜是以类似电视摄影的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。 扫描电镜能完成： 表(界)面形貌分析； 配置各种附件，做表面成分分析及表层晶体学位向分析等。;SEM;1 扫描电镜的特点和工作原理 ;特 点;工作原理;供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源也是供给阴极射线显像管的扫描线圈的电源，此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。 因此，样品上电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。;;;;;2扫描电镜成像的物理信号 ;一、背散射电子（backscattering electron） ;一、背散射电子（backscattering electron） ;;二、二次电子 （secondary electron） ;二、二次电子（secondary electron） ;;三、吸收电子（absorption electron） ;三、吸收电子（absorption electron） ;四、透射电子 （transmission electron） ;五、特征X射线 （characteristic X-ray） ;五、特征X射线（characteristic X-ray） ;六、俄歇电子（Auger electron） ;其它物理信号;1．放大倍数（magnification） 2．分辨率（resolution） 3．景深（depth of field / depth of focus）;1．放大倍数（magnification）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;3．景深（depth of field / depth of focus）;3．景深（depth of field / depth of focus）;;应用举例;;;;;;轴瓦各层成分;各层厚度;结论;扫描电镜在各领域的应用;材料学;材料学;材料学;材料学;材料学;电子、半导体工业;电子、半导体工业;陶瓷工业;陶瓷工业;冶金工业;还应用于植物、动物、医学、考古、石油工业、食品科学、橡胶工业、纺织工业、刑侦等等