基于MEMS的数字地震检波器的研究-通信与信息系统专业论文.docxVIP

中文摘 中文摘要 重庆大 重庆大学硕士学位论文 I I PAGE PAGE VI 摘 要 本文是以 MEMS 技术传感器为研究基础，依附于路基溶洞监测工程，设计新 型的精度更高的 MEMS 数字地震检波器，来替代传统模拟地震检波器，打破国外 技术的垄断。本文详细地调研了地震检波器技术在国内外的发展现状；简要分析 了小型化数字化检波器技术的指标要求；对 MEMS 数字检波器发展的趋势以及传 统检波器和数字检波器的优缺点做了对比分析；同时对适用于路基桥梁等工程地 下探测的 MEMS 数字地震检波器系统进行了以下研究： ① 通过分析 MEMS 传感器的工作原理及制作工艺研究，建立了其相应的力 学和电学模型，并对本项目中所用的 MEMS 传感器进行了后期调理电路的设计与 实现。 ② MEMS 传感器采集到的地震波初始信号仍然是模拟信号，直接传输难以避 免会掺杂许多噪声干扰信号。为了增强采集信号的抗干扰能力，需要进行快速数 字化传输，本文设计了 24 位高精度 delta-sigma AD 转换器原理图及 PCB 板图，并 对 AD 采样波特率进行了可选择化软件控制。 ③ 探测地层越深，所采集的数据量就越大，为了能对地下更深层的地质结构 进行勘探检测，本项目设计了 512bit 双缓存 SDRAM 芯片，采用 FPGA 微控处理 器进行高速缓存及传输的控制。 ④ 在完成整个硬件系统后，运用了 signal Tap II 对系统设计器件的性能及工 作准确性进行了仿真验证。 ⑤ 基于 dotNET 平台，建立了 MEMS 数字化检波器相应软件之间的通信，并 设计实现了对单检波器采集数据存储、实时时域波形显示及格式转换的功能。 ⑥ 在 MEMS 数字地震检波器系统设计稳定后，为了验证检波器在复杂环境 下的采集效果，在野外进行了实地检测试验，并对采集数据进行时频特性、噪声 干扰等性能分析研究，实验结果表明，本文设计的数字检波器能够胜任野外地震 勘探的要求。 本文设计的检波器在保证其测量精度下，主要在检波器小型化，数字化传输 上取得了突破，该研究成果将为国内检波器向数字化发展起到推动作用。 关键词：MEMS 技术，地震勘探，数字检波器，delta-sigma AD 转换器，双缓存 SDRAM 英文摘 英文摘要 重庆大 重庆大学硕士学位论文 III III PAGE PAGE IV ABSTRACT This paper is based on the research of the sensor of MEMS technology, attached to the roadbed cave monitoring project, design a model MEMS digital geophone with higher accuracy to replace of the traditional analog geophone, breaking the monopoly of foreign technology. This paper surveys the state of development of geophone technology at home and abroad in some detail; making a brief analysis of the index requirements of the digital and miniaturized detector technology; we have done a comparative analysis between advantages and disadvantages of the imperative development of MEMS digital geophone and the traditional detector and digital geophones; at the same time, make the following research for MEMS digital geophone system suitable for the bridge engineering : ① through the analysis of the working principle and research of structure of MEMS sensor, establishes the corresponding mechanical and electrical model, t made a post conditioning circuit design and implementati