基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究-机械制造及其自动化专业论文.docx

中国科学院博士学位论文：基于MEMS的无阀裂数值仿真与实验研究基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究 中国科学院博士学位论文：基于MEMS的无阀裂数值仿真与实验研究 基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究 研究生部：白兰 指导教师：昊一辉研究员 摘要 针对微流体系统中对流体进行定量输运的需求，开展了基于MEMS的无阀 微泵理论分析，仿真及实验研究。 扩张管／收缩管型微泵是比较典型的无阀型微泵，它以收缩和扩张的不同形 状通道代替了单向阀，利用因流道不对称所引起的压力损失的不对称性来实现流 体的泵送，而且结构简单，制作工艺成熟，因而引起了人们的普遍重视。 本文运用有限元分析软件ANSYS对扩张管／收缩管的角度、长度、最小口径 等因素对流量和效率的影响进行了数值计算。 分析了薄膜的振动模态，并对泵膜一流体耦合振动过程进行了理论分析，得 出了耦合振动方程的近似解析解。在此基础上分析了不同阻尼系数，不同驱动力 以及不同固有频率下的泵膜振幅、泵流量的变化规律。 运用有限元软件CFX分析了无阀泵的动态工作过程及无阀泵的瞬时流量、 累积流量随驱动幅值和驱动频率等参数的变化规律。流量仿真结果与实验结果基 本吻合。 以微机械加工工艺为基础制作出了硅基微型无阀泵，驱动薄膜采用聚合物 PDMS柔性薄膜，泵体为玻璃一硅一玻璃的三明治结构。通过实验测试分别考察 了电压和频率以及薄膜刚度等参数对无阀泵输出能力的影响。实验还表明无阀泵 既可以用作液体泵，也可以用作气体泵。在相同电压驱动下气体无阀泵的流量要 高于液体无阀泵，但气体泵的背压较低。在驱动电压为8V，驱动频率为15Hz 时，液体泵的最大流量可达O．44ml／min。泵的最大背压可达17．5cm水柱。 关键词：MEMS 无阀泵 扩张管／收缩管 有限元仿真 Simulations Simulations and experimental studies of valve—less micropumps based on MEMS Bai—Lan Directed by Professor Wu·Yihui ABSTRACT In order to realize the demand of the quantitative transportation in the microfluidic system，the theoretical analysis，sireulations and experimental studies of valve—less micropumps based on MEMS developed． Diffilser—nozzle micropumps are typical valve—less micropumps．They diverging and converging micro channels instead of way valves．These micropumps utilize the different pressure drop characteristics of flow through nozzle and a diiNser to direct the flow in one preferential direction，and hence cause net pumping action．Additional benefits of difluser-nozzle micropumps include the simple geometry and the mature manufacture technologies，so people draw much attention to these pumps。 NumericaI simulations about the effects of angle，length，minimum width and depth of the difluser-nozzle to the mass flow and e衔ciency are done using the computational Fluid Dynamics program Ansys／Flotran． The vibration modes of the membrane are studied．And the fluid·membrane coupling vibration process is analyzed theoretically,the approximate analytical solution for the coupling vibration equation is given．On th