基于MEMS的超滑表面研究-机械工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index：0647.5；0647.6 Dissertation for the Master Degree in Engineering RESEARCH ON SLIPPERY LIQUID INFUSED POROUS SURFACES BASED ON MEMS Candidate： An Guangming Supervisor： Shao Junpeng Academic Degree Applied for： Master of Engineering Specialty： Mechanical Automation Date of Oral Examination： Mar, 2016 University： Harbin University of Science and Technology 哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明 本人郑重声明：此处所提交的硕士学位论文《基于 MEMS 的超滑表面研究》， 是本人在导师指导下，在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间独立进行研究工作 所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分外不包含他人已发表或撰写 过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集体，均在文中以明确方式 注明。本声明的法律结果将由本人承担。 作者签名：安光明 日期： 2016 年 3 月 28 日 哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书 《基于 MEMS 的超滑表面研究》系本人在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期 间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归哈尔滨理工大学所 有，本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解哈尔滨理工 大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留并向有关部门提交论文和 电子版本，允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨理工大学可以采用影印、 缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的全部或部分内容。 本学位论文属于 保 密□，在 年解密后适用授权书。 不保密□√。 (请在以上相应方框内打√) 作者签名：安光明 日期：2016 年 3 月 28 日 导师签名：邵俊鹏 日期：2016 年 3 月 28 日 哈尔滨理工大学工程硕士学位论文 哈尔滨理工大学工程硕士学位论文 基于 MEMS 的超滑表面研究 摘 要 超滑表面利用其基底上的微纳结构通过毛细作用将润滑油等液体锁定在孔 隙中，孔隙中浸润的润滑油在基底形成一层动态油膜，油膜与不溶液体的液-液 界面代替了固体与液体的固-液界面，从而大幅减少了滑动阻力。与传统具有类 似低滚动角特性的超疏水和超疏油表面相比，孔隙中填充润滑油比空气具有更 好的压力稳定性，而且润滑油的毛细流动性使得超滑表面具有良好的自修复能 力。目前超滑表面仍处于实验阶段，如何将超滑表面应用于生产生活中将成为 研究的热点。 本文总结分析了近年来超滑表面制备和应用进展，并且将其与介电润湿整 合。采用光刻技术制备了实验需要的 ITO 电极, 利用 MicroWriter 无掩膜光刻设 备将 ITO 电极的表面加工为超滑表面和疏水表面，随后搭建实验台，对击穿电 压进行了测试和比较。 其次，针对生物淤积，本文根据具体的实验需求采用聚二甲基硅氧烷（PDMS） 廉价制备超滑表面的方法。将聚苯乙烯微球粘附在胶带上作为模板，浇筑 PDMS， 脱模后的 PDMS 即为疏水表面，浸润润滑油后的疏水表面为超滑表面。选取易 于淤积的大肠杆菌作为实验对象，用接种大肠杆菌的培养液浸泡超滑表面和疏 水表面 48 小时，比较大肠杆菌在这两种表面的淤积情况。 本课题涉及多学科交叉，文中分析总结得到的超滑表面制备理论以及实验 中摸索出的工艺参数对于进一步研究超滑表面具有一定的借鉴意义。 关键词 超滑表面；介电润湿；无掩膜光刻；生物淤积 I - Research on Slippery Liquid Infused Porous Surfaces Based on MEMS Abstract The slippery liquid infused porous surfaces are fabricated by infiltrating functionalized micro/nano surface structures with low-surface energy, chemically inert lubricating oil. The lubricating oil is locked by micro/nano structures due to the capillary effect, and a dynamic oil film is formed on the surface. Therefore, the liqu