大尺寸平面量测的影像接合法-工研院.PDF

大尺寸平面量測的影像接合法大尺寸平面量測的影像接合法 大尺寸平面量測的影像接合法大尺寸平面量測的影像接合法 蘇彥禎 工研院量測中心 YJSu@.tw 摘要摘要 摘要摘要 本論文提出一個用軟體來接合影像的演算方式，並以多張影像的接合，來達到大尺寸平面量測的 目的 。運算時，我們先以平整化的計算來校正傾斜(tilted)的待測物 ；然後以相關係數(correlation coefficient) 比對影像可能重疊的部份 ，找出最佳接合位置；最後再將影像疊合(diffuse) 。本演算方式能 有效克服硬體結構的不穩定所造成的傾斜 、以及載台移動時精確度不足的問題；另外，此方法很容易 實做 、而且有很快的運算速度 ，很適合應用在實際量測上。 關鍵字 ：大尺寸平面量測、影像接合、自動化 壹、壹 、前言前言 壹壹 、、前言前言 圖 1 ：大尺寸平面量測的基本架構， 圖 2 ：兩次的量測，A和 A’要接合 ， 以水平 、和垂直載台，調整待測物的 必須校正座標原點 ，以及做傾斜(tilt) 量測位置 。 修正 。 現今顯微量測技術發展的重點 ，除了精度要夠細密、掃描速度要夠快、自動化的功能要夠完整外， 大行程、大尺寸的量測是另一個普遍獲得重視的發展方向。要進行大尺寸的量測，提升元件的規格(如 加大物鏡是一個做法) ；然而這麼做除了開發成本會大量增加之外，硬體本身也有它的極限存在 ，因 此以軟體的方式 ，將多次量測後的各張影像校正並接合，是一個較常被採用的方式，各家儀器開發大 廠，如 FOGALE 、SNU 、Taylor-Hobson 、Veeco 、Zygo 等，均推出據有接合功能的機台 。 影像接合的應用可分為 ：平面(plane)量測 、與非平面(non-plane)量測 包括球面與非球面( ) 兩部份 。 非球面量測較為複雜 ，因為相對之下待測物的曲率比它的表面形貌大非常多，所以通常需要旋轉測頭 或是待測物 ，以避免超出量測範圍的情況，而這種空間中多維度的變化，不僅機構設計上較難處理， 也是造成影像接合困難的主要原因 。 本論文處理的問題限定在平面量測上 ，儀器的架構如圖一所示，其中測頭的部份可以是光干涉 儀，也可以是接觸式的構造 ，量測方式是藉由水平和垂直載台的移動，來調整待測物的量測位置。影 像接合時所要克服的問題如圖二所示 ，圖中A和 A’是兩次量測的結果 ，它們的座標原點會因為量測 載台的移動而產生位移 ；也會因為機構的不穩定性，而必需考慮載台移動時的精確度、以待測物傾斜 的問題 。 我們提出一個以軟體的方式進行影像接合的方法 ，可以修正機構上的不穩定性，而且具有很快的 運算速度 。本論文的架構，第一章為前言 ；第二章為相關研究方法 ；第三章為研究成果 ；第四章為結 論與建議 ；最後一章為參考文獻 。 1 貳、貳 、 相關研究方法相關研究方法 貳貳 、、 相關研究方法相關研究方法 要增加影像疊合的精確度 ，主要的處理方式分成硬體及軟體兩方面：硬體上，是以精密的元件來 架設機構 ，使得量測時儀器的誤差能在特定的範圍之內，但是更精密的機構代表儀器的成本和儀器的 複雜度會有所增加 ；而軟體上，則是以演算法來修正對位的誤差。 [Besl]提出的 Iterative Closest Point (ICP)是一種適用於三維空間對位 、且具有普遍性的演 算