水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究-表面技术.PDF

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2019-03-02 发布于天津
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水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究-表面技术

吕小莉等水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究暋暋暋74 暋水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究 , , , , 吕小莉冯长杰钟小荣万小欢杜楠 ( , ) 南昌航空大学南昌 330063 [ ] , 摘要在传统酸性镀铜液中加入玻璃球利用和考察了玻璃球数量与震荡频率对机械研磨暋暋暋暋 SEM XRD , 。 : 电镀工艺的影响并探讨了水平震荡频率和玻璃球数量对镀层微观结构的影响机理实验结果表明固定玻璃球 , , ; 数量为个震荡频率为时所得镀层的晶粒尺寸随着震荡频率的增加而显著降低固定水平震荡 80 2.5~4.2Hz , , , , 频率为4.2Hz玻璃球数量为40~120个时随着玻璃球数量的增加所得镀层的晶粒尺寸先降低后略有增大 ; ( ) , 。但仍明显小于传统镀层水平震荡机械研磨电镀铜层具有 111择优取向但择优取向程度受水平震荡条件影响 [ ] ; ; ; ; 关键词水平震荡机械研磨电沉积镀铜镀层结构暋 [中图分类号] [文献标识码] [文章编号] ( ) TQ153.1 暋暋暋 A 暋暋暋 1001灢3660201003灢0074灢04 Stud ontheProcessofHorizontallVibratin y y g MechanicalAttritionElectrolatin CuCoatins p g g , , , , LVXiao灢li FENGChan灢ie ZHONGXiao灢ron WANXiao灢huan DUNan gj g ( , , ) Nanchan Hankon Universit Nanchan 330063 China g g g y g [ ] Abstract暋Themechanicalattritionwassu liedinatraditionalacidelectrolatin rocessofCu.Theeffectsof pp