基于表面重构的纳米刻划技术研究-机械工程专业论文.docxVIP

目录目录 目录 目录 摘要‘ ．xI ABSTRACT+ XlI 第1章绪论 1 1．1微纳米技术的研究现状 ．1 1．1．1 LIGA微纳米加工技术 ．．1 1．1．2基于能量束的微纳加工技术 ．3 1．1．3基于MEMS工艺的微纳加工技术 4 1．2基于扫描探针显微镜系统的微纳加工技术发展现状 。5 1．3表面重构的分子动力学研究现状 ．7 1．4传统加工技术的理论基础及课题的提出 ．9 1．4．1传统加工技术的基础及存在的问题 ．．9 1．4．2课题的提出 10 1．5课题研究内容和意义 10 1．5．1课题的主要研究内容 lO 1．5．2课题的研究意义 1 l 第2章纳米刻划机理的分子动力学仿真研究 12 2．1分子动力学仿真方法概述 12 2．1．1分子动力学基础 一12 2．1．2基本运动方程 ．．1 3 2．1．3势函数的选择 14 2．1．4分子动力学仿真中的边界条件 ．．15 2．2单晶硅纳米刻划仿真模型的建立 16 2．3压入过程的分子动力学仿真 19 2．3．1探针压入过程的运动分析 19 2．3．2探针压入过程中的应力分析 20 2．4刻划过程的分子动力学仿真 27 2．4．1探针刻划过程的运动分析 27 万方数据 山东大学硕士学位论文 ’2．4．2探针刻划过程中的应力分析 29 2．5纳米刻划中的原子重构机理研究 32 2．5．1 单晶硅纳米刻划过程中的相变行为 32 2．5．2单晶硅纳米刻划过程的原子重构 33 2．6本章小结 ～34 第3章纳米刻划机理的实验研究 。36 3．1实验设备及样品制备 36 3．2单晶硅的纳米压痕实验 37 3．3单晶硅的纳米刻划实验 一42 3．4本章小结 ．．47 第4章纳米刻划的工艺研究 。48 4．1纳米压痕深度预测模型 48 4．2工艺参数对刻划深度的影响研究 ．．49 4．2．1刻划力对刻划深度的影响研究 ．．49 4．2．2刻划次数对深度的影响研究 ．．53 4．2．3刻划速度对深度的影响研究 ．．55 4．3刻划次数对刻划槽形的影响研究 ． ．57 4．4本章小结 ．60 结论与展望 61 童烤文献 63 致j射 69 万方数据 Table Table of Content Table of Contents Abstract in Chinese ．IX Abstract in English ．．X Chapterl Introduction ．1 i．1 Research status ofmicro and nano fabriction technology ．．．．．．．．． ．．1 1．1．1 LIGAmicro and nanofabricration technologies．．． ．． ． ． ．．．．．．．．．．．．．． 1 1．1．2 Energy beam machining technology ．3 1．1．3 MEMS-based nanofabricration technology． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．． 4 1．2 Research status ofmicro and nanofabriction based AFM ．．． ． ．．． ． ． ． ．5 1．3 Research ofsurface reconstruction based Molecular Dynamic．． ．． ． ． ．．． ．．．7 1．4 The theoretical bases of traditional processing techonlogy and the project ．．9 1．4．1 The bases and problems oftraditional processing techonlogy ．9 1．4．2 The proposing ofproject ． ．． ．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ．10 1．5 The contents and significance ofthe study．．．．．． ．． ．．． ．．．．．．．．．． ．．1 0 I．5．1 Research contents ．10 1．5．2 Significance ofthe project ．．．． ． ． ．．．．．．．． ．． ．．．．．． ．．1 1 Chapter2 Study on Molecular Dynamic simulation of nano scratching mechanism 12 2．1 Ov