基于变动性的半导体制造生产线性能预测与优化策略研究-模式识别与智能系统专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 分类号 密级 UDC 注 1 学 位 论 文 基于变动性的半导体制造生产线性能预测与优化策略研究 （题名和副题名） 彭歆然 （作者姓名） 指导教师 李 波 教 授 电子科技大学 成 都 （姓名、职称、单位名称） 申请学位级别 硕士 学科专业 模式识别与智能系统 提交论文日期 2013.03.06 论文答辩日期 2013.05.06 学位授予单位和日期 电子科技大学 2013 年 06 月 29 日 答辩委员会主席 评阅人 注 1：注明《国际十进分类法 UDC》的类号。 PERFORMANCE PREDICTION AND OPTIMIZATION STRATEGY RESEARCH OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PRODUCTION LINE BASED ON VARIABILITY A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Pattern Recognition and Intelligent Systems Author: Xinran Peng Advisor: Bo Li professor School : School of Aeronautics and Astronautics 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘 要 缩短生产周期、提高生产速率、增加产量是制造企业追求的最终目标，寻找 好的方法帮助企业正确了解生产线状况、快速确定生产优化方向成为生产调控的 前提。半导体制造企业作为自动化水平高、设备精密昂贵、技术要求高的企业， 其生产线所拥有的多产品混合加工、设备串并联排布、批量转运批量生产、工站 分流回流等特点，给生产优化带来了困难；而生产过程中时刻存在着换模、停机 等变动性的随机影响，在企业的生产优化中也无法忽视，各半导体制造企业对生 产线优化与控制十分关注。本文以半导体制造生产线为研究对象，基于变动性理 论和利特尔法则对生产线性能进行预测建模，通过改进生产线性能评估方法，并 结合预测模型，提出一种从全局角度出发，帮助企业了解生产状况、选择最佳生 产优化方向的策略。 首先，研究半导体制造生产线的特点，基于变动性理论了解变动性的起因、 分类、量度以及生产线三大绩效的定义和关系，分析总结变动性对生产线的影响， 为建立适应半导体制造生产线的性能预测模型提供理论依据。 其次，根据半导体制造生产线的特点以及变动性的组合作用，提出生产线性 能预测建模的难点与解决方法，为模型的建立确定必要条件；基于变动性理论和 排队论选择现有生产线性能相关参数模型，并依照建模的必要条件对模型进行改 进；提出相关参数的获取方法，完善生产线性能预测模型。以某半导体制造企业 为实例，对生产线性能预测模型进行验证，确定了模型的有效性和可行性。 最后，对三大标杆评估方法进行改进，将生产线性能预测模型与改进后的评 估方法结合，提出从全局角度出发的、帮助企业寻找生产线优化方向的优化策略。 达到通过预测与再预测反映生产线状况、辅助寻找生产优化方向、提前获取改进 结果的目的；实现通过评估与再评估反应生产线性能、对比寻找最佳生产优化方 向的目标。 关键词：半导体制造，生产线性能预测，变动性，性能评估，优化方向 I ABSTRACT ABSTRACT The goals that enterprises pursue include shortening the production cycle, improving production rate and increasing output, and the premise of production control means to find a perfect way to help enterp