基于白光垂直扫描干涉法量物体微观表面形貌的研究-光学工程专业论文.docxVIP

f掣掣f磐咄I磐掣哕攀硕|：论文 f掣掣f磐咄I磐掣哕攀 硕|：论文 摘 要 光学元件的微观形貌会直接影响光学系统的性能和精度。微观表面形貌的测鼍方法 有很多，其中光学干涉测鼍法具有精度高、速度快、测量范围广、不损伤待测件等优点， 得到广泛的应用。研制了Mirau型白光扣描干涉显微镜，实现台阶板的高度、计算全息 元件的刻蚀深度以及微透镜阵列的表面形貌的测量。 基丁二Mirau型干涉显微镜尤限远光学系统的要求，重新设计现有的金相硅微镜光路， 实现白光零光程差位置和共轭像点位置的重合，得到待测件的白光干涉条纹，进而研制 出Mirau型自光1二涉显微镜。仪器的垂直测最范围可达lOgm，垂直分辨率优于0．5rim， 横向分辨率为838．75nm。为了实现干涉显微镜的垂直壬j描，以PZT作为移相器并对其 在乌氏干涉仪上使用自光进行标定。标定PZT作等间隔移动的步进电压值，通过重新分 配电压校-JF PZT非线性误差，校正后得到的非线性度小于O．8％，符合测试的需要。 分析比较傅里叶变换算法和空间频域算法，选取了空间频域算法实现从垂直手1描得 到的一系列白光干涉图中提取表面形貌信息。针对测量结果的毛刺现象，通过傅里叶变 换提取白光jF涉信号中心波长的相位信息并结合包络中心算法去除相位模糊，从而实现 零光程的精确定位。 白光垂直扫描干涉显微镜针对台阶板、CGH、微透镜阵列等光学元件进行测最，完 成了PV值和RMS值的分析。台阶高度测得54．12nm，与ZYGO NewView 7200轮廓仪的测 试结果50nm相吻合。 关键词：微观表面形貌，干涉显微镜，空间频域算法，粗糙度 Abstract Abstract 硕b论文 Abstract The micro—surface profiles of optical elements have a direct influence on the system’S performance and precision．There are many methods for micro—surface profile measurement， of which the optical interference method with advantages of high precision，high speed and wide measurement range has a broad application．This dissertation presents a Mirau type white—light interference vertical scanning microscope we have developed which achieves the measurement of step height，the Bench of a CGH and surface roughness of a micro lens array． This dissertation redesigns the optical path of metallurgical microscope to be identical with the infinity system of Mirau type interference microscope．It realizes the superposition between zero optical path difference position and conjugate imaging position，coming to the white—light interference fringes．By then we have developed the Mirau type white—light interference microscope．The vertical measurement range is l O}tm．vertical resolution 0．5nm and lateral resolution is about 83 8．75nm．To realize the interference microscope vertical scanning，we take