介质金属介质透明导电多层膜的椭圆偏振光谱研究.PDFVIP

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2019-02-15 发布于北京
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介质金属介质透明导电多层膜的椭圆偏振光谱研究.PDF

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激光与光电子学进展 , ( ) « » ５３１０３１０１２０１６ C２０１６中国激光杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 介质金属介质透明导电多层膜的椭圆偏振光谱研究/ / ,, ,, 孙瑶１２３汪洪１２３　　　１ , 中国建筑材料科学研究总院国家玻璃深加工工程技术中心北京１０００２４２ , 中国建筑材料科学研究总院绿色建筑材料国家重点实验室北京１０００２４３ , 中国建筑材料科学研究总院太阳能与建筑节能玻璃材料加工技术北京市重点实验室北京１０００２４ / / , 摘要拥有介质金属介质结构的透明导电多层膜的光学与电学性能优于单层透明导电氧化物膜或金属膜且能　 . / / , . 够在低温下制备采用磁控溅射室温制备 ZnO A SiN透明导电多层膜并进行变角度椭圆偏振光谱测量对单 g , . , 层膜建立物理模型并进行拟合获得每层膜的折射率与消光系数由单层膜模型组建多层膜模型使多层膜的椭 . , , 圆偏振光谱拟合值与实测值相吻合拟合结果表明不同和流量比条件下制备衬底层时功能层 O Ar ZnO Ag ２ , . , 的模型中载流子浓度几乎不变而迁移率不同当和流量比使处于氧化态时层的迁移率 Drude O Ar ZnO Ag ２ , , . 最高由射线衍射分析发现此时层具有最强的结晶强度与择优取向 X