基于YCOB的高温声表面波传感器的研究-材料科学与工程专业论文.docxVIP

I I 摘 要 摘 要 无线高温声表面波传感器不但具有一般 SAW 器件的体积小、品质因数高、重 量轻、功耗小等优点，而且还能在高温、高压等恶劣环境实现无线无源传感测量， 因而在传感器领域中有巨大的应用前景。压电基底的高温特性对高温 SAW 传感器 的应用有着至关重要的影响，因此，本文采用一种具有优异高温压电特性的新型 压电基底 YCa4O(BO3)3 来制备和研究无线高温 SAW 传感器。 本文首先对 SAW 谐振器进行了设计和仿真。根据 SAW 谐振器的设计理论和 依据，并充分考虑实验制备实现条件，设计出单端口 SAW 谐振器的叉指宽度为 3 μm，波长λ为 12 μm，叉指对数为 50 对，金属化比率为 0.5，孔径长度为 100 λ， IDT 和反射栅距离为 9 μm，反射栅的对数为 100 对。本文采用 COMSOL Multiphysic 有限元分析软件对 YCOB 的 SAW 谐振器进行了仿真，通过仿真得到了 SAW 器件 的特征频率和频率响应，并且得到了电极厚度对器件特征频率的影响。 其次，本文选用 X-90o、Z-90o和(180o，120o，167o)这 3 种切型的 YCOB 作为 基底材料，采用微电子工艺完成了 SAW 器件的制作，通过对工艺流程和工艺参数 的优化，最后实现了在不同切型 YCOB 基底上重复的制作 SAW 器件。 本文对制作得到的不同切型 YCOB 的 SAW 谐振器进行了测试。测试结果表明， 基于 X-90oYCOB、Z-90oYCOB 和(180o，120o，167o)YCOB 的 3 种 SAW 谐振器都 具有良好的 SAW 传感特性，谐振器的谐振频率分别为 230.53 MHz、278.94 MHz 和 284.24 MHz。本文对制备的 SAW 谐振器进行了温度测试，最高测试温度为 600℃，测试结果表明，选用的 3 种切型 YCOB 的 SAW 器件都具有良好和稳定的 高温特性，谐振频率和温度都成线性关系，然而，X-90oYCOB 的 SAW 谐振器的 温度灵敏度和 TCF 最低，值分别为 12.28 kHz/℃和 54 ppm/℃；Z-90oYCOB 的 SAW 谐振器有最高的温度灵敏度和 TCF，值分别为 21.22 kHz/℃和 76 ppm/℃；(180o， 120o，167o)YCOB 的 SAW 谐振器的温度灵敏度和 TCF 处于前两种切型的器件之 间，值分别为 18.03 kHz/℃和 63 ppm/℃。比较可知，Z-90oYCOB 和(180o，120o， 167o)YCOB 的 SAW 谐振器比 X-90oYCOB 的 SAW 谐振器有更好的温度传感特性。 高温循环测试结果表明，Z-90oYCOB 和(180o，120o，167o)YCOB 比 X-90oYCOB 的 SAW 谐振器的高温稳定性好。 本文利用制备的 SAW 谐振器和偶极子天线构建了无线温度传感器。无线测试 最高温度为 550℃，测试结果表明，基于 X-90oYCOB 和(180o，120o，167o)YCOB 的无线 SAW 传感器都具有良好和稳定的无线高温传感特性，传感器的特征频率随 II II 摘 要 温度的升高呈线性降低，它们的灵敏度分别为 12.02 kHz/℃和 18.68 kHz/℃，比较 可知，(180o，120o，167o)YCOB 比 X-90oYCOB 的无线 SAW 传感器具有更好的无 线温度传感性能。 关键词：SAW 谐振器，COMSOL 仿真，微电子工艺，无线 SAW 高温传感器 PAGE PAGE III ABSTRACT ABSTRACT Wireless high temperature surface acoustic wave sensor not only has the advantages of general SAW devices, such as small volume, high quality factor, light weight, and low power, but also can be made into wireless passive sensor measurements in high temperature, high pressure and other harsh environment, which makes it prospective in the field of sensor. High temperature characteristics of the piezoelectric substrate have profound influence on the applications o