表面改性和处理新技术.pptVIP

⑤可控性和重复性好。通过改变离子源和加速器能量，可以调整离子注入深度和分布；通过可控扫描机构，可以控制面积大小； 上面说的是其优点，总得看来，让我们觉得离子注入恰似给工件的“皮肤”渗入了“维生素”，正是它们，使工件“延年益寿”，真像一首诗描绘的一样：“好雨知时节，当春乃发生。随风潜入夜，润物细无声。”想想感觉是不是这样呢？ 但离子注入跟其他技术一样，也有其局限性，有哪些缺点呢？ ⑥离子注入层的厚度有限，一般不大于1μm；离子注入为一视线过程，就是说离子只能直线行进，它不会拐弯绕行，对于复杂的和有内孔德零件不能进行离子注入；需要真空工艺，工艺成本相对较高，工艺操作难度大，应用还不广泛。 离子注入表面改性特点 主要的应用对象是金属固体，在半导体工业上的应用起步最早、最广泛。 离子注入是高精度零件加工的理想手段。离子注入深度和分布；通过可控扫描机构，可以控制面积大小； 离子注入在陶瓷、磁性材料和高分子聚合物等领域也得到了重要应用。 金属蒸汽真空弧源 等离子体浸没离子注入 轰击扩散镀层技术 不同能量的重叠注入法 展望 离子注入表面改性的应用 概念——将工件置于一定的活性介质中加热到一定温度，使预定的非金属或金属元素向工件表层扩散渗入，形成一定厚度的扩散层，以改变表层的成分、组织和性能的热处理工艺。（书上134页） 也叫化学热处理，属于表面改性，成分结构都发生变化 基本过程——