基于光纤传感器的微摩擦微粘着测试仪性能研究-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 微摩擦／微粘着测试仪是针对微观条件下摩擦及粘着现象开发的测试装置， 能够有效测量微牛至毫牛范围内的摩擦力和粘着力，反映材料间的摩擦和粘着 特性，为微机电系统中微摩擦磨损特性研究提供试验手段。 本文在先期研制的微摩擦／微粘着测试仪的基础上，针对振动干扰影响较大 和步进电机间歇运动等问题，对信号处理、步进电机控制和压电陶瓷控制等问 题进行了分析和研究，采用复合滤波、闭环控制和复合加载等方法对测试仪进 行改进，进一步提高了仪器的测试精度和稳定性，主要研究工作有： (1)采用铍青铜为材料制作弹性敏感元件，并进行了有限元分析和标定，优 化了元件的刚度系数和输入输出线性，增强了测试仪的灵敏度。 (2)对不同工况条件下的载荷及摩擦力电压信号进行时域、频域和小波分 析，研究了噪声和振动干扰信号特点，采用均值滤波、滑动滤波和小波去噪组 成的复合滤波方法进行处理，有效地减弱了外界振动干扰和噪声的影响。 (3)分析了法向步进电机加载方式下的静态及动态加载误差，通过构建PD 闭环控制系统实现闭环加载控制，减少了加载误差，提高了载荷加载精度。 (4)研究了压电陶瓷的迟滞和非线性等固有特性，在前馈开环控制误差分析 的基础上，对压电陶瓷采用位移闭环控制，获得了较高的位移输出精度。 (5)采用步进电机和压电陶瓷实现复合加载，满足了不同加载要求，通过微 摩擦力测试实验和微粘着力测试实验，验证了测试仪稳定性和可靠性。 关键词：微摩擦；微粘着；测试仪；复合加载；复合滤波 ABSTRACTABSTRACT ABSTRACT ABSTRACT 11地Micr0墩ctionMicro adhesion tesber is a test de、，i∞developed f；觑ction and adl地sion phe删on und盱nle microscopic测on，WIlich c孤e鼠ctive measu把衔cti∞force粕d adhesive f01∞in tt塘瑚ge of Mic∞豫me踮d B觚khoe ca：ttle，al∞c姐reflect the propem鼯of赫ction and adllesion姗ng the materials． A芏ld it provid∞test崦metbods to micm僦ction甜rition propenies fh MEMS (n此ro elecnD mechanical system)． B鹊ed on thc advance de、reloplnent ofmicro伍ctionmicro adllesion tcster，也e p印ef amdyzes锄d fesearches the咖blc!m of si弘al pfocessing，st印piIlg motor con血Dl姐d piezoel哪ic删c con扛Dl，砌ch is against t0也e probleIn of伊eat iIlfluence of vibralion and illten】：littent moVement of stepping motor．n used methods Of composite fik曲g、closed 100p c∞们l姐d唧site loading to improve the te蛐％wIlich is曲le to睨lhance the testiIlg accuracy aIld stabn咄The main research wofk is showed as fbllo、Ⅳs： (1)U∞be巧llium bfonze for m曲erial pfodllced eIastic sensitiVe comp‘m伽临； Process finitc-element觚aJysis锄d demarcation；0pt泌li：豫t}le Sti伍1ess coe伍ciem and in-out line盯of compomIIt；hIlproVe seIls“ivity oftestI咒 (2)A凹lyze the自：quency domaill，tiIne domaill锄d wavelet fbr teSt si目lals of micr0 m甜on under of di饪-er∞t workjng condition；According t0 si鹃al characteristic， uSe the methods姐ch弱a_vefage fik血gsliding fin盯and wavelet de—noisiIlg for di百tal fi岫，to filter e删Vibration inte睡rence孤d noi∞． (3)A衄ly