基于超材料的太赫兹吸波体理论与工艺研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 超材料是一种新型的人工电磁材料，其结构一般由周期阵列单元构成，其电磁特 性高度依赖于所设计的器件结构。太赫兹(terahertz:THz)电磁波具有安全性好、光谱 信息含量高、穿透性强和频带宽等优点，在通信、生物医学、物质识别和国防军事等 方面的应用前景极其广阔。随着微纳加工工艺和太赫兹技术的飞速发展，基于微纳加 工工艺的超材料太赫兹吸波体研究，成为太赫兹功能器件领域的一个研究热点。 本文首先基于时域有限积分方法，设计了一种新颖的三层结构太赫兹宽带吸波 体，并详细分析了吸波体的电磁吸收机理和吸收曲线受不同参数影响情况。仿真结果 表明，该宽带吸波体其吸收率在 80%以上对应的带宽为 1.2THz，其半峰全宽(FWHM) 为 1.6THz，最大吸收率可达 98.7%，对太赫兹波的偏振方向不敏感，且能实现大入射 角吸收。若按比例改变该宽带吸波体的结构尺寸，则吸波体的工作频段也可以扩展到 微波和红外等波段，其在电磁隐身、测辐射热的探测和宽带通信等领域具有潜在的应 用价值。 然后，详细介绍了 MEMS 微加工工艺流程和特点，并简要介绍了吸波体结构的 设计方法。最后，在利用 CST 软件设计出了太赫兹可调吸波体后，采用 MEMS 工艺 制作出了可调吸波体样片，分析了可调吸波体的电磁损耗机理以及吸收曲线受不同参 数的影响情况，并实验验证了吸波体吸收峰的调制特性。仿真结果表明，该吸波体的 低频吸收峰出现红移，且调制度为 2.2%，吸收率的幅度变化为 0.5%；中频吸收峰的 调制度为 5.7%，吸收率变化幅度为 7.4%；高频吸收峰的调制度为 0.65%，吸收率变 化幅度为 3%。实验结果表明，吸波体的低频吸收峰出现了明显的红移，且调制度为 0.7%，吸收率变化了 0.5%；中频吸收峰的调制度为 3.9%，吸收率变化了 1%；高频 吸收峰的调制度为 1.4%，吸收率变化了 8%。该吸波体的仿真结果与实验结果基本吻 合。该 THz 可调吸波体可用作 THz 调制器，在频率选择性光谱探测、THz 开关和多 谱成像等方面的应用前景十分巨大。 关键词：超材料，太赫兹，宽带吸波体，MEMS 工艺，调制 -I- Abstract Abstract Metamaterial is a kind of novelly aritificial electromagnetic material whose structure is generally composed of periodic array cell, and the electromagnetic property of it is strongly depend on the designed structure. Terahertz(THz) wave have some advantages such as the good security, the high content of spectral information, the strong penetrability and the wide bandwidth. Thus, it has many potential applications, such as communication, biomedicine, substance identification and national defense, et al. With the rapidly development of the micro-nano machining process and the THz technology, the research on the metamaterial THz absorber based on the micro-nano machining process becomes one of the research focus in the field of THz functional devices. Firstly, based on the time domain finite integral method, this thesis designs a novel THz broadband absorber with sandwich structure , and analysis the principle of electromagnetic absorption of the metamaterial absorber in detail, as well as the situation of the different parameters influence th