基于单视角SEM图像的纳米操作精确定位-控制工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index：TP249 Dissertation for the Master Degree in Engineering The Precise Positioning in SEM Images Candidate: Wang Debao Supervisor: Li Dongjie Academic Degree Applied for: Master of Engineering Pattern Specialty: HYPERLINK /control%20engineering Control Engineering Date of Oral Examination: March, 2016 University: Harbin University of Science and Technology 哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明 本人郑重声明：此处所提交的硕士学位论文《基于 SEM 图像的操控工具 的精确控制》，是本人在导师指导下，在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间独 立进行研究工作所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分外不包含他 人已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集体，均已 在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。 作者签名： 日期： 年 月 日 哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书 《单视角 SEM 图像中的精确定位》系本人在哈尔滨理工大学攻读硕士学 位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归哈尔滨理工大 学所有，本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解哈尔滨 理工大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留并向有关部门提交论 文和电子版本，允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨理工大学可以采用影 印、缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的部分内容。 本学位论文属于  保密 ?，在 年解密后适用授权书。 不保密 ?。 作者签名： 日期： 年 月 日 导师签名： 日期： 年 月 日 哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 基于单视角 SEM 图像的纳米操作精确定位 摘 要 纳米操作是纳米技术的重要研究内容之一，其在科学、经济和社会领域 的价值已上升到重要的地位，以成为一项重要的研究技术。纳米技术在不同 的领域的影响也越来越广泛，例如纳米制造、纳米装配、生物医学、纳米材 料、电子技术等，因而具有高效、稳定的纳米操作系统应用前景广阔。在单 视角的纳米操作系统的基础上，本文针对物体的精确定位进行深入研究。为 实现精确定位，引入亚像素边缘检测和相似度，对探针的精确位置信息进行 研究；为实现纳米线的精确定位，引入核密度估计，对纳米线的精确位置信 息进行研究； 在实验过程中，探针作为主要的操控工具，其能否精确定位，决定这实 验的成败。根据由 SEM 搭建的纳米操作系统的特点，本文采用了粗定位与 精确定位相结合的方法，实现对探针的快速而准确的定位。在精确定位中的 平面精确定位而言，本文利用亚像素边缘检测的原理，提取探针的准确边 缘，实现探针的平面精确定位。而对于垂直精确定位而言，本文引入相似度 原理，实现对探针的深度信息的提取。测验结果证明，图像中探针的平面精 确定位的精度能达到亚像素级别，探针的垂直精确定位也可快速的实现。 在纳米操作过程中，操作对象往往是比较小的物体(例如纳米线)，为实 现精确的操作，必须准确地获取纳米线的位置信息。利用核密度估计原理， 提出适应 SEM 图像的小物体识别方案。再根据亚像素的精确定位原理，研 究小目标物体定位，实现单纳米线的精确定位。实验结果表明纳米线不但可 以快速而准确的从背景中识别出来，而且纳米线的定位精度也得到提升。 针对试验中出现的纳米线重叠的特殊情，为了提取纳米线的位置信息， 需要将重叠的纳米线简化，使其化为单一的纳米线形式，再根据单纳米线位 置信息提取方法获得位置信息。 关键词 纳米操作；三维定位；图像处理；核密度估计；相似度 I - The Precise Positioning of Nanomanipulation in Single-view SEM Image Abstract Nanomanipulation is one of the most important research in nanotechnology, its value in scientific, economic and social fields has become increasingly important to be seen as an important strategic technology. The influence