干式吸附废气处理系统-centrothermcleansolutions.PDF

CT-D 干式吸附 废气处理系统 概述 CT-D干式吸附废气处理系统能够在半导体和光伏行业中安 全、高效地处理有害气体。 CT-D是一套被动系统，它不需要特殊的厂务设施供给，仅 要求电源和压缩空气或氮气。我们特别设计不同的尺寸具有 专利的吸附桶，按照客户不同的要求填充药剂。针对各种不 同的工艺气体，我们使用一种或多种不同药剂。药剂吸附有 毒、腐蚀性、可燃废气及其副产物。药剂在常温下与废气进 行不可逆的化学反应，有害废气转换成不挥发、无机的固 体。 为了确保客户生产顺利，我们向全球客户提供完整吸附桶更 换和药剂回收服务。具体地说，在客户要求时，我们向客户 提供新填充的吸附桶。客户可自行更换吸附桶或由我们的售 后服务团队更换。我们负责安排已使用吸附桶的运送和已使 用药剂的回收。我们会提供客户药剂回收证明。 应用  研发用途  沉积工艺(比如MOCVD)  原子层沉积(ALD)工艺  蚀刻工艺  离子注入工艺  铜铟镓硒(CIGS)光伏电池工艺 行业  半导体  光伏  LED  学府和研究机构 流程示意图 P 特点和优势  高达99.99%的处理效率（DRE）  针对各种工艺应用而特别设计的药剂  药剂吸附为化学不可逆反应，所以有害气体 不会再次从药剂中释放  防止堵塞的冷井专利吸附桶设计  对厂务要求低，药剂寿命长  维护需求极低  可安全、简易地更换吸附桶  高质量德国制造 尺寸 技术数据 CT-D 60 CT-D 120 工艺气体流量 可达 100 slm 可达 200 slm 吸附桶尺寸 60升 120升 药剂容量 重量1 大约 240 公斤 大约 280 公斤 电源 0.3 kW [单相] 100-240 VAC [50/60 Hz] 氮气供给 6 - 8 bar 连接1/4“卡套接头 压缩空气供给 6 - 8 bar (选配) 连接1/4“卡套接头 标准配件 配有3升迷你吸附桶的旁路 紧报灯塔 选配 氢气套件 [温度监控、气体传感器、氮气稀释] 1 包含吸附桶。实际重量依所使用的药剂种类为准。 centrotherm clean solutions GmbH Co. KG Johannes-Schmid-Str. 3 D-89143 Blaubeuren Germany