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华
华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文
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1 绪论
1.1 课题背景
图 1-1 为目标跟踪系统的组成结构框图。其中探测器所输出的电信号携带着被跟 踪目标的角度信息,将该电信号进行处理后,一方面送入陀螺跟踪机构,控制调整光 轴盯住目标;另一方面送入控制信号形成模块,产生出控制信号,反馈给执行机构, 以控制整个系统对目标进行跟踪[1-3]。
图 1-1 目标跟踪系统框图
当前世界上主流的位标器结构一般常采用多维支架的形式,其中每个自由度根据 所需的驱动力矩装置而采用不同的形式,如 磁场驱动式、伺服连接驱动式、摇杆驱动 式等。磁场驱动式的位标器具有体积小、总量轻、结构紧凑的优点,但其结构比较复 杂,需要依靠专门的进动线圈,驱动力矩也比较小。伺服连接驱动式则是在多维支架 内外两个轴上分别安装力矩电机,具有驱动力矩大、结构简洁、控制方便灵活的优点, 但其体积较大。摇杆驱动式也采用了力矩电机形式,具有转动惯量小,内环运动部件 质量轻和体积小的优点,但所用虎克铰的加工难度较大[4-7]。
具有三自由度球面旋转能力的多维支架结构,是一种新的位标器的稳定跟踪平台 结构方案,该平台结构简单,而且铰链部分全部采用了加工容易的转动铰链。
这种新型的三自由度球面旋转多维支架稳定平台如图 1-2 所示, 该稳定平台支架 结构是一个三自由度球面旋转的并联机构。该平台的转动中心为中环框架转轴与内环 框架转轴的交点。一组相互平行的四杆机构来驱动内环和中环框架的旋转,这样可以 在距离支架较远的地方安装驱动电机,使得机构清晰。
图 1-2 多维支架示意图
该稳定平台多维支架三个框架轴的垂直度将直接影响到位标器的定位精度,而中 环和内环可以通过调零工装进行零位校正,但是调零工装对外环的轴偏移角无法进行 零位校正,所以在产品装配前对多维支架外环轴垂直度(即角度偏移量)的测量就显 得尤为重要。
1.2 角度光学测量的常用方法
由于光学测量的方法具有隔离性、高精度性以及广泛的适应性而深受各行业的关 注,因而也成为测量微机械和精密器械的一种不可或缺的手段[8]。本节对当下微角度测 量的几种常用光学测量方法进行了综述。
1.2.1 自准直法
当物体和其像分别位于光学系统的像面上时,如果物体发生一定角度的转动,那 么该物体对应的在像面上的像也将发生转动。所以自准直法就是通过光束照射到被测 物体上,检测其对应的像点的位移量来得出物体转动的角度[9-12]。
如图 1-3 所示,激光器发出的激光经过扩束镜扩束后投射到被测物体上,经被测
物体反射后由分束镜分束后,再由透镜 2 聚焦到光电二极管上,如果测出物体转动前 后光电二极管探测到的光斑的偏移值,再根据光电二极管到被测物体的距离与光斑偏 移值的比值,即可求得该被测物体相对于原位置所转动的角度。
图 1-3 自准直测角系统
自准直法在实验室环境容易搭建。因此希望获得高精度的测量数据和分辨率,就 必须增大测量物体与探测器之间的距离,这样仪器的体积也会相应增大。如果精确度 要求不是高或者设备体积没有具体的限制,可选用自准直法。该方法应用较为方便, 常用于粗调激光器的谐振腔平行度等。
1.2.2 光学内反射法
当光从光密介质射向光疏介质时,如果入射角大于临界角,那么将在介质界面发 生全反射。在全发射情况下,入射角的变化将引起反射光强的变化。光学内反射法就 是利用这一特点,通过测量反射光强的变法来测量被测物体的偏移角。
图 1-4 界面上入射角与反射率的关系
其原理图如图 1-4,可见当入射角在临界角附近时,介质的反射率线性度较高,而
反射角微小变化就能引起反射光强的巨大变化,所以如果在测量前定一个临界角附近 的初始角度,我们便可以利用临界角附近角度反射光强变化灵敏度高的特变,测量相 对于初始角有微小变化的角度位移,实现微角度的光学高精度测量。[13-14]。
内反射法是由 P.S.Huang 提出的,利用该方法制成的角度测量仪体积可以做得非常 小,在设备空间体积受限的情况下,可以考虑使用内反射法进行角度测量,而且还具 有实现简单,成本低廉并且可以实现实时的角度测量等优点[15-17]。如果对设备的测量 分辨率要求较高,可以采用全内反射的差分式结构进行角度测量。这种结构利用差动 探测法构造出随入射角线性变化的有效反射率,这样能提高角度测量的分辨率和精度。 测试示意图如图 1-5,这种结构可以实现对物体的微角变化测量。但是由于该方法需要 测量发射光的光强,因此要求测量必须在暗室中进行,并且激光器必须要有较高的稳 定性。该方法由于测量范围较小,所以目前常用于微角度测量。
图 1-5 全反射差动探测法测角装置
1.2.3 干涉测量法
通过测量物体反射光和参考光的光程差来测量物体的微角度转动的方
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