利用铸造法制造三元合金之高效率散热元件及其性质之研究-交通大学.PDF

利用鑄造法製造三元合金之高效率散熱元件及其性質之研究 蘇祥逸 、薛力銘 、朝春光 (期中報告) 交通大學材料研究所 利用陽極氧化鋁膜(AAO)為模板 ，製作熱電材料之Bi Sb Te 合金之奈米線 。將純鋁薄 0.5 1.5 3 板置於草酸溶液中經陽極處理 ，可得孔徑為 60 nm的多孔性氧化鋁膜 ，在此多孔性氧化 膜的阻障層 (barrier layer) 表面施以無電鍍處理，析鍍一層金屬鎳做為基板 。利用鑄造法 以一油壓裝置將熔融之合金擠入氧化鋁模板之奈米孔 洞中 ，待金屬液凝固後 ， Bi Sb Te 合金 奈米線即可形成 ，藉由精確地控制並了解奈米模板與熔融合金之介面反 0.5 1.5 3 應參數為製作高品質奈米線的首要條件 。 一、 前言 成及可操控的物理特性 ，對於提升熱電轉 換效率有很大的幫助 ，才因此帶動研發的 近年來 ，隨者電子工業製程技術的飛 熱潮[1-5] 。奈米材料有比塊材具有更大的 快進步 ，各種電子元件功能越來越強 ，而 表面積以及量子侷限效應(quantum 尺寸卻越來越小 ，發熱密度不斷增加 ，對 confinement effect) ，因此奈米結構的材料 於散熱或溫度控制等的熱管理需求越來越 具有新的物理性質及獨特的物理現象 ，這 高 。就目前各項熱管理技術而言 ，以熱電 對提昇ZT 值 （可作為熱電材料性能的指 致冷元件最具有發展潛力 ，製造熱電產生 標 ）遭遇瓶頸的熱電材料 ，預期應有突破 器或熱電致冷器的材料稱為熱電材料 性的改善 ，故而奈米科技目前被視為找尋 (thermoelectric materials) ，是一種將電能與 高 ZT 值熱電材料的希望 。目前由理論或 熱能交互轉變的材料 ，其優點如下：1.體 實驗方面均已證實 ，具奈米結構之熱電材 積小 堅固， ，且無雜音；2. 符合環保需求 ， 料要比塊材有更好的熱電性質 ，文獻上製 不需使用氟氯碳氫化合物等冷媒 （破壞臭 作奈米材料多以離子法如物理氣相沉積法 氧層 ）；3.可回收熱源轉變成電能節約能( (PVD)[6-7] 、化學氣相沉積法 (CVD)[8] 、 源) ；4. 溫度能作更精確的控制 。目前在 熱解法(thermal decomposition)[9] ，或化學 國外如 :美、俄 、日 、韓 、德 、法及中國大 法如電鍍(electro-plating)[10] 、凝膠法 陸都已設有國家級的熱電材料中心，及一 (sol-gel)製作；然而，利用氣相沈積法搭配 些大型企業也投入熱電材料的研發及生產 半導體微影技術 （lithography ）的製備方 行列 ，不論是在理論方面或實驗方面皆有 法 ，雖然較常被使用 ，但其設備昂貴 ，製 很大的研究空間 。 造過程繁複且環境條件控制嚴格 ，並不適 十九世紀時科學家即發現材料的熱電 用於大面積製作 ；而化學法雖然製程較簡 現象 ，此種現象可說是各種材料都具有， 單 ，但容易有雜質產生 且合金成份比例及 只是一般材料的熱電轉換效率較低 ，因此 尺寸不易精準控制 ；本研究提供另一種製 並未引起科學家廣泛的興趣 ，自從 1950 備方式 ，可以更快速的而且大量的製造 Bi Sb Te的奈米線 ，合金成分的控制與 0.5 1.5 3 年代開始發現半導體化合物具有多變的組 調配亦可準確達到 ，未來適合