接触式表面轮廓测量系统中的微恒力技术-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

华中科技大学硕士学位论文 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 PAGE 10 PAGE 10 1.绪论 1.1 课题的来源 973 国家重点基础研究发展计划,( 2007CB714000)全断面大型掘进装备设计制造中 的基础科学问题, 课题编号(2007CB714005)掘进系统的位姿测量与自动导向和工程实 践。 1.2 目的及意义 近年来随着电子技术、宇航、生物工程等学科的迅速发展和广泛应用，尤其随着微 电子技术向大规模集成电路和超大规模集成电路方向发展，微机械的研究以及微力机构 得到迅猛发展，机械装置越来越趋于自动化，智能化，精密化。对于精密化的机械，对 于它的每个组成部分的精度要求必须非常之高，以保证精密度。这些仪器和精密机械从 制造出厂到使用都必须有一个严格的检测过程，对于这些仪器和精密机械检测的一个重 要方面就是对于表面的轮廓测量。加工过程中的加工方法及工艺对于表面形貌有很大的 影响，而零部件的使用性能在很大程度上由表面的纹理特征决定。在机械工业中，机械 零件的表面形貌，影响到了机械系统的摩擦磨损、疲劳强度、配合精度等机械性能，而 且还影响工件的物理性能，比如工件的导热、导电及抗腐蚀能力等，从而可能会使机械 和仪器的可靠性、抗振性、工作精度及使用寿命等受到影响。接触式表面轮廓测量仪是 测量工件表面形貌的一种重要仪器，这种测量仪器具有测量结果稳定可靠，重复性好， 精度较高等优点并能实现大量程，在测量过程中为了真实反应物体表面形貌，必须保证 测量过程中测头与被测表面紧密接触，对于这个接触力的控制直接关系到测量结果的精 确性和可靠性。 接触式表面轮廓测量仪接触力的控制，目前国内都采用的是使用一定弹性系数的弹 簧提供压紧力实现，这个是一个不确定的力，在测头运动过程中会随着弹簧的拉长或者 压缩而改变，这个不确定性在一定程度上影响了测量的精度、和测量的范围，同时也存 在一定的划伤被测工件表面的可能性，在进行大量程的测量中这些缺点尤为明显。 为了开发大量程接触式表面轮廓测量仪，需要解决工件表面轮廓大量程的测量中接 触力不可控的缺点，所以本课题根据电磁学原理，采用永磁铁和通电线圈产生力的方式， 实现表面轮廓仪的微恒力控制，进而开发微恒力控制的大量程接触式表面轮廓测量仪。 因此，本课题研究的微恒力控制技术能保证表面轮廓仪的测量结果的高精度和稳定性， 减小测头的磨损和对工件表面的划伤，对国内大量程接触式表面轮廓测量仪的开发和应 用有实际的意义。 1.3 发展概况 国外概况 首先对表面微观不平度的参数进行了定量的测量的是在上个世纪 30 年代，是由德 国 G.Schmaltz 等人完成[1]。随后人们又发明了一些基于机械和光学方法实现信号转换的 表面特征记录仪器。到了 1936 年, 美国的 E.J.Abbott 研制成功了第一台车间用的测量表 面粗糙度的轮廓仪。英国 Taylor-Hobson 公司在 1940 年研制成功了表面粗糙度测量仪 Talysurf。渐渐的，各国均发现了表面轮廓仪测量的重要性，竞相研制各种类型的轮廓 仪,轮廓仪从此进入了表面特征测量领域,并迅速占据了主导地位。轮廓仪技术的发展同 电子技术、计算机技术、信号处理技术等发展相适应。以 Talysurf 系列产品为例,从 Taly-surf3 到 Talysurf 5P 5Z 5L 它经历了电子管电路技术，晶体管电路技术和集成电路技 术等阶段。目前的 Talysurf 5M、Talysurf 6 型和 Form Taly-surf 已经进入到了数字技术、 计算机技术辅助轮廓仪的新阶段，而每一阶段的转变都使轮廓仪达到了一个更高的水准 [2][3]-[5]。 在 1996 年北加利福尼亚大学的 D.G.Chetwynd 等[6]提出了一种可控力触针位移测头 技术，测头由电磁力激振器、片簧挂钩支撑、差动电容传感器三个部分组成。测头采用 了一个低膨胀系数的测量链方案以得到热稳定性。测量力的调节由电磁力调节器和力控 制的比例反馈电路进行[7]。英国 Taylor-Hobson 公司目前依然采用的这种弹簧的结构， 如下图 3.3 为 Taylor-Hobeson 的相位光栅干涉计 PGI 的简单结构图，图中其探头力的部 分使用的是弹簧（Spring），在实际应用中其已经采用了恒力系统（磁恒力）。 图 3.3 Taylor-Hobeson 的相位光栅干涉计 PGI 下图 3.4 为 Hommel_nanoscan 的结构图[8]。在此测量系统中其采用的也是柱面光栅 作为传感器，与 Taylor-Hobeson 的相比，其采用的是柱面光栅的侧面进行测量。在该系 统中，力的部分采用的是磁力恒力装置，在力的方面提供了稳定的输入，可以适应不同 量程的测量。 图 3.3