金属-介质界面表面态理论研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 南京邮电大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过 的研究成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 本人学位论文及涉及相关资料若有不实，愿意承担一切相关的法律责任。 研究生签名： 日期： 南京邮电大学学位论文使用授权声明 本人授权南京邮电大学可以保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子文 档；允许论文被查阅和借阅；可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索； 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。本文电子文档的内容和纸质 论文的内容相一致。论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生院办理。 涉密学位论文在解密后适用本授权书。 研究生签名： 导师签名： 日期： 摘要 电磁表面波是一种被束缚于介质分界面上的特殊电磁波，最著名的电磁表面波莫过于在 电介质-金属界面激发的表面等离子体激元，其本质是在介质-金属界面上光和金属表面的自 由电子相互作用而激发并耦合电荷密度起伏的电磁振荡，具有近场增强、表面受限、短波长 等特性，能够突破衍射极限，是目前实现全光集成的方法之一。此外，表面等离子体激元在 数据存储、太阳能电池等方面具有重要的应用。另一种常见的电磁表面波是光学 Tamm 态， 这种由 A.V.Kavokin 于 2005 年首次提出的新型表面波是由半导体超晶格中的电子 Tamm 态类 比而来的、在光子晶体异质结或含金属薄膜的 Bragg 反射镜结构中形成的无损耗的表面波， 相比表面等离子体激元，这种新型的无损耗表面波可以由 TE 偏振光或 TM 偏振光直接激发， 因此，成为了一些依赖表面波工作的微纳光学器件的一种非常优秀的后备选择。 本文将以表面等离子体激元和光学 Tamm 态这两种电磁表面波为主要研究对象： 首先以表面等离子体激元基础理论为指导，结合以往研究成果，设计了一种径向偏振光 激发的长焦深、长焦距、亚波长紧聚焦的表面等离子体激元透镜，该透镜结构实现了光斑焦 深、半高宽、焦距分别是入射光波长的 2.5 倍、0.388 倍、3.22 倍的亚波长紧聚焦。表面等离 子体激元透镜是一种通过激发和操控表面等离子体激元，突破衍射极限，实现亚波长紧聚焦 的纳米光子器件。该透镜由中心 T 型微孔、阶梯型同心环和同心环结构组成。首先利用有限 元方法数值分析了中心微孔-同心环结构透镜的聚焦特性，结果显示径向偏振光由底部入射可 高效激发表面等离子体激元，并且中心微孔透射光与散射至自由空间的表面等离子体激元由 于多光束干涉形成了紧聚焦。为进一步压缩焦斑、增加焦距、加深焦深、改善透镜聚焦特性， 引入中心 T 型微孔-阶梯型同心环结构，从而对阶梯表面的表面等离子体激元进行了相位调制 和传播方向的控制。该透镜具有结构紧凑、尺寸小、易于集成的优点，满足了纳米光子学对 于器件微型化和高度集成化的要求。该研究结果在纳米光子集成、近场光学成像与探测、纳 米光刻等相关领域具有潜在的应用价值。 其次，利用传输矩阵法和有限元算法，对底部带有金属薄膜的 Bragg 反射镜结构中的光 学 Tamm 态进行了详细的研究，发现当金属薄膜厚度增加时光学 Tamm 态的激发波长会先向 短波方向移动，最终维持在一个固定值不变；每当与金属接触的 Bottom layer 电介质层厚度 增加 λ/2n 时，反射谱内与光学 Tamm 态对应的反射 dip 会再次出现；当 Bottom layer 的厚度 为多个不同波长的整数倍时，反射谱内就会出现多个 dip。利用有限元算法，对带有梯形凹槽 的 DBR-金属结构的光传输特性，发现当梯形张角较小时，整个结构具有了偏振选择特性，即 TM 偏振光发生了透射则强，而 TE 偏振光透射率维持不变。这种透射增强现象会随着梯形张 I 角增加而逐渐减小。本文的研究结果可以为无腔式极化激元激光器和光学生物传感器等微纳 光学传感器的设计提供一定参考。 关键词: 电磁表面波，表面等离子体激元透镜，光学 Tamm 态，有限元法，传输矩阵法 II Abstract Surface states are a kind of localized states found at the interfaces between two different media. One of the most known types of such waves is surface plasmon polaritons (SPPs), which a