锌离子注入铌酸锂晶体的光谱特性-激光与红外杂志.PDF

第４５卷　 第２期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．２ 　 ２０１５年２月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｆｅｂｒｕａｒｙ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０２０１６６０５ ·红外材料与器件 · 锌离子注入铌酸锂晶体的光谱特性 郑丽杰，苏　红，张传义，李可尧 （深圳市激光工程重点实验室，深圳大学电子科学与技术学院，广东 深圳５１８０６０） 摘　要：利用离子注入技术和氧气氛围高温退火制备了不同掺锌剂量的铌酸锂样品，并研究了 锌离子浓度以及退火状态对铌酸锂晶体紫外和红外波段特性的影响。紫外波段，锌离子的注 入使铌酸锂晶体的吸收边红移，退火后吸收边均与纯铌酸锂晶体的相同，锌离子的注入降低了 －１ －１ －１ 铌酸锂晶体的透射率；红外波段，纯铌酸锂晶体分别在３４８６ｃｍ 、２８５１ｃｍ 和２９１７ｃｍ 处出 现主次吸收峰，掺锌样品的主吸收峰位置与纯铌酸锂晶体相比发生微小的红移，Ｘ切向铌酸锂 样品有明显的次吸收峰，而退火前Ｚ切向铌酸锂样品的次吸收峰不明显，退火后吸收峰变锐 利。锌离子的注入以及退火状态对铌酸锂晶体的透射率有影响，分别增强和减弱Ｘ切向和Ｚ 切向铌酸锂晶体的透射率。 关键词：铌酸锂晶体；锌离子注入；紫外光谱；红外光谱；吸收系数；吸收边 中图分类号：ＴＮ２１１　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１５．０２．０１１ ＳｐｅｃｔｒａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＺｎｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｉｎＬｉＮｂＯ ｃｒｙｓｔａｌ ３ ＺＨＥＮＧＬｉｊｉｅ，ＳＵＨｏｎｇ，ＺＨＡＮＧＣｈｕａｎｙｉ，ＬＩＫｅｙａｏ （ＳｈｅｎｚｈｅｎＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＬａｓｅｒＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ＳｈｅｎｚｈｅｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈｅｎｚｈｅｎ５１８０６０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄａｎｎｅａｌｉｎｇａｔｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｉｎｏｘｙｇｅｎａｔｍｏｓｐｈｅｒｅｗａｓｕｓｅｄｔｏｐｒｅｐａｒｅＬｉＮｂＯ ３ ２＋ ２＋ ｓａｍｐｌｅｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔＺｎ ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｓＴｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔＺｎ ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｓａｎｄ ａｎｎｅａｌｉｎｇｓｔａｔｅｏｎｔｈｅｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔａｎｄｉｎｆｒａｒｅｄｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＬｉＮｂＯｃｒｙｓｔａｌｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄＩｎｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｗａｖｅｂａｎｄ，ｅｘ ３