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高介电常数的栅极电介质薄膜的性能研究.PDF

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    , 第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , , 年 月 文章编号 一 一 一 高介 电常数 的栅极 电介 质 薄膜 的性能研 究 王 东 生 , 于 涛, 游 彪 , 夏 奕东 , 胡 安, 刘 治 国 南 京 大 学 固体 微 结 构 物 理 国家重 点 实验 室 , 南京 要 在室温下 , 用 磁 法在 衬底上 了 , 射频 控溅射 制备 具有高介 电 数 的 膜 这 摘 采 常 薄

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