纳秒外重复脉冲激光单硅的力学过程研.PDFVIP

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  • 2019-02-21 发布于天津
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纳秒外重复脉冲激光单硅的力学过程研.PDF

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 19 (2012) 197901 * 1) 1)† 2) 1) 1) 1) 3) 4) 4) 1) ( , 610064 ) 2) ( , 621010 ) 3) ( , 610041 ) 4) ( , 610041 ) ( 2012 1 3 ; 2012 4 17 ) 355 nm , , . : , , ; , ; , , , , 8:1; , , , , 100 . : , , , PACS: 79.20.Eb, 79.20.Ds, 61.72.uf, 61.80.Ba , , 1 [6], [7,8] . 40 , , 60 , Norton 0.001 95% , [1], [9], , . (MEMS) [2,3] , . . , Landgraf X , , [10]; Lee [4,5] . * (: (: 11zxjk08) (: 2009SCU1108) . E-mail: hjh scu@163.com c 2012 Chinese Physical Society 197901-1 Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 19 (2012) 197901 [11];Brandi µm, ; [12]. 10 ( 2(b)), 355 nm , , , 12.1 µm, ,

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