界面种子层对CoFe2O4基薄膜结构和性能的影响-材料物理与化学专业论文.docxVIP

Classified Index: TB34 U.D.C: 621.3 Dissertation for the Master Degree in Engineering THE EFFECT OF SEEDING LAYER ON THE STRUCTURE AND PROPERTIES OF COBALT FERRITE BASED THIN FILMS Candidate： Zhang Yanan Supervisor： Prof. Fei Weidong Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Materials Physics and Chemistry Affiliation： School of Materials Science and Engineering Date of Defence： June, 2015 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 摘 要 尖晶石结构的钴铁氧体(CoFe2O4，简称 CFO)薄膜因具有饱和磁化强度高、矫 顽力高、磁晶各向异性大、化学性能稳定、耐腐蚀耐磨损等优异的物理化学性质 而被广泛研究，但因本身不具有铁电性而并不是多铁材料。本文试图通过微量掺 杂 Al/Li，得到除 BiFeO3 之外的，又一种在室温自然状态下，时具有铁电性与铁磁 性的单相多铁材料，并且合适的种子层的引入可以调控薄膜的残余应力、磁性能、 薄膜质量等，因此本文以 CFO 基薄膜为研究对象，研究种子层对 CFO 基薄膜结构 与电磁性能的影响。其中用 X 射线衍射分析了薄膜的相结构和残余应力，用原子 力显微镜观察表征了薄膜的表面形貌，用阻抗仪和铁电测量仪测量了薄膜的介电 性能和铁电性能以及漏电性能，最后用振动样品磁强计测量了 CFO 基薄膜的磁性 能。 采用溶胶-凝胶法在 Pt/Ti/SiO2/Si 衬底制备了 CoO 种子层，通过研究 CoO 种子 层层数与退火温度对 CFO 薄膜结构与磁电性能的影响，可以得知当 CoO 种子层为 2 层，退火温度为 550℃时，容易获得结晶性比较好，表面粗糙度比较小的 CFO 薄膜，并且此时薄膜介电常数比较大，介电损耗比较小，所受残余应力为拉应力， 磁性能表现为垂直与平行方向的各向异性。另外，采用磁控溅射法在 Pt/Ti/SiO2/Si 衬底制备了 SrTiO3 种子层，通过研究该种子层退火温度对 CFO 薄膜结构与磁电性 能的影响，可以得知当 SrTiO3 种子层退火温度为 750℃时，容易获得结晶性比较 好的 CFO 薄膜，此时薄膜表面粗糙度比较小，所受残余应力为拉应力，介电常数 大，甚至可以达到 2500(频率为 1kHz 时)，介电损耗比较小，介电损耗随着频率的 升高而降低直至平稳。 根据以上结论，在 CoO 种子层(2L-550℃)和 SrTiO3(750℃)上采用溶胶-凝胶法 制 备 了 不 同 退 火 温 度 和 不 同 厚 度 的 掺 杂 5%Al/Li 的 CFO 薄 膜 (Co0.95Al0.025Li0.025Fe2O4，简称 ALCFO 薄膜)，可以得知，ALCFO 薄膜为单一的尖 晶石结构，并且表现出优异的介电性能，ALCFO 薄膜虽然有一定的漏电现象，但 是绘制出了电滞回线，使其成为除 BiFeO3 等之外的，又一种在室温自然状态下， 同时具有铁电性与铁磁性的单相多铁材料。至于漏电机制，CoO 种子层上的 ALCFO 薄膜表现为欧姆机制与空间电荷传导机制的复合，而 SrTiO3 种子层上的 ALCFO 薄膜为欧姆机制。 关键词：界面种子层；钴铁氧体薄膜；介电性能；磁性能；铁电性能 -I- Abstract Cobalt ferrite CoFe2O4 (CFO) thin films with spinal structure has been intensively investigated due to its excellent physicochemical properties, such as moderate saturation magnetization, high coercivity, high magnetocrystalline anisotropy, remarkable chemical stability, anti-abrasion and anti-corrosion. However, CFO is not multiferroic material due to