近等原子比TiNi合金薄膜的制备与马氏体相变机理的研究-材料学专业论文.docxVIP

摘要 摘要 西安理工大学硕士学位论文 西安理工大学硕士学位论文 I I II II 近等原子比 TiNi 合金薄膜的制备与马氏体相变 机理的研究 学科名称：材料学 作者姓名：高 坤 作者（签名）： 导师名称：卢正欣 副教授 导师（签名）： 井晓天 教授 答辩日期：2006.3 摘 要 本论文主要研究近等原子比 TiNi 合金薄膜的制备工艺以及 TiNi 合金薄膜在动态 加热、冷却过程所发生的相变，揭示了 TiNi 合金薄膜从奥氏体到马氏体的演变过程。 论文主要通过自制 TiNi 合金靶材，并运用磁控溅射法来制备 TiNi 合金薄膜，而且对 薄膜进行晶化处理，并在 X 射线衍射、透射电子显微镜、扫描电子显微镜等现代分析 手段观察 TiNi 合金的组织及表面形貌，最后再通过动态加热、冷却来观察 TiNi 合金 薄膜中的相变过程，并得出以下结论： 1.用磁控溅射法制备 TiNi 合金薄膜时，其主要影响因素依次为溅射电流（功率）、工 作气压和靶基距。此时的薄膜为非晶薄膜，但有时也有部分被晶化。 2.经过实验，磁控溅射法制备 TiNi 合金薄膜的最佳参数为：溅射电流为 0.7A，工作 气压为 0.6Pa，靶基距为 55mm。 3.在对 TiNi 合金薄膜进行晶化处理时，其温度应在 600℃左右，退火处理时间为 1 小 时，此时薄膜完全被晶化，但同时也有 TiNi3 等析出相产生。