中红外39μm长波通截止滤光膜研制-激光与红外杂志.PDF

第４７卷　 第７期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４７，Ｎｏ．７ 　 ２０１７年７月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｌｙ，２０１７ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１７）０７０８７１０４ ·光学技术 · 中红外３９ ｍ长波通截止滤光膜研制 μ 张永久，梁立昕，姚大虎，张　阔，韩永昶 （北京奥依特科技有限责任公司，北京 １０００１５） 摘　要：以薄膜光学和激光红外技术为背景，介绍了３９ ｍ长波通截止滤光膜的用途、设计 μ 与制备方法。基于波动光学原理，首先分析了滤光膜设计方面的难点，其次讨论了薄膜选材、 通带展宽、工艺制备等研究过程中的主要技术问题。利用计算机优化软件进行优化计算后，结 合离子辅助工艺得到了吸收小、透过率高、光洁度与附着力良好的薄膜。目前相关的技术应用 在中红外系统中有效改善了信噪比和响应度。 关键词：中红外；光学薄膜；长波通截止滤光膜；信噪比 中图分类号：Ｏ４８４　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１７．０７．０１６ Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎ３９ ｍｌｏｎｇｐａｓｓｆｉｌｔｅｒｃｏａｔｉｎｇｓ μ ｉｎｍｉｄｄｌｅｉｎｆｒａｒｅｄｂａｎｄ ＺＨＡＮＧＹｏｎｇｊｉｕ，ＬＩＡＮＧＬｉｘｉｎ，ＹＡＯＤａｈｕ，ＺＨＡＮＧＫｕｏ，ＨＡＮＹｏｎｇｃｈａｎｇ （ＢｅｉｊｉｎｇＯｐｔｏＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｏ，Ｌｔｄ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｉｎｆｉｌｍｏｐｔｉｃｓ，ｌａｓｅｒａｎｄｉｎｆｒａｒｅｄｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｅｕｓｅｆｕｌｎｅｓｓ，ｄｅｓｉｇｎａｎｄｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓｏｆ ３９ ｍｌｏｎｇｐａｓｓｆｉｌｔｅｒｃｏａｔｉｎｇｓｉｎｍｉｄｄｌｅｉｎｆｒａｒｅｄｂａｎｄａｒｅｐｒｅｓｅｎｔｅｄＡｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｗａｖｅｏｐｔｉｃｓ，ｔｈｅ μ ｄｅｓｉｇｎｄｉｆｆｉｃｕｌｔｉｅｓｏｆｆｉｌｔｅｒｃｏａｔｉｎｇｓｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄ，ａｎｄｔｈｅｎｓｏｍｅｔｅｃｈｎｉｃａｌｐｒｏｂｌｅｍｓｏｆｍａｔｅｒｉａｌｓｅｌｅｃｔｉｏｎ，ｐａｓｓｂａｎｄ ｂｒｏａｄｅｎｉｎｇａｎｄｐｒｏｃｅｓｓｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｗｅｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄＡｆｔｅｒｏｐｔｉｍａｌｄｅｓｉｇｎ，ｔｈｅｃｏａｔｉｎｇｓｗｉｔｈｌｏｗａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ，ｈｉｇｈｔｒａｎｓ ｍｉｔｔａｎｃｅ，ｗｅｌｌｓｕｒｆａｃｅａｎｄａｄｈｅｓｉｏｎｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄｂｙｃｏｍｂｉｎｉｎｇｉｏｎａｓｓｉｓｔｅｄｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙＴｈｉｓｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｃａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅ ｌｙｉｍｐｒｏｖｅＳＮＲａｎｄｒｅｓｐｏｎｓｉｖｉｔｙｆｏｒｔｈｅｍｉｄｉｎｆｒａｒｅｄｓｙｓｔｅｍ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｉｄｉｎｆｒａｒｅｄ；ｏｐｔｉｃａｌｆｉｌｍ；ｌｏｎｇｐａｓｓｆｉｌｔｅｒ；ＳＮＲ １　引　言 系统、红外相机、多光谱成像仪器、光谱分析和航 ３～５ ｍ的中红外波段是衰减最小的大气窗 天器件以及很多军工产品中也有着重要的作 μ 口，在新型红外热像仪和中红外激光器中有着重 用［１］。鉴于此，研制高质量中红外波段光学薄膜 要的应用，高性能中波红外光电探测器为了提高 对于中红外系统