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分光光度法测定多晶硅中铁和铝-Core
,2010,30( 10): 6265
Metallurgical Analysis,2010, 30( 10) :6265
: 1000- 7571(2010) 10- 0062- 04
1 2 2 * 1
, , ,
( 1 , 361005; 2 , 361005)
:将多晶硅(硅粉) 用氢氟酸和硝酸二次溶解,用高氯酸的二次冒烟去除氟离子对铝的干
扰,用3 cm 的比色皿解 铁低灵敏度带来的误差大的问题使用分光光度法准确测定多晶硅
中铁和铝的含量研究了显色条件对显色反应的影响, 确定最佳实验条件结果表明, 在p
3~ 5 的乙酸乙酸钠缓冲溶液中,铁与5 mL 025 g/L 的1, 10二氮杂菲 10 min 后生成稳定的
红色络合物, 且在2 ~ 10 g/50 mL 范围内服从比尔定律;在p 55~ 61的六次亚甲基四胺
缓冲溶液中,铝与5 mL 03 g/L 的铬天青S 在 15 min 后形成稳定的紫红色络合物, 且在4 ~
16g/50 mL 范围内服从比尔定律用分光光度法能准确测定纯度为9999%多晶硅(硅粉)
中铁和铝含量, 并与ICPAES 法测试结果对比, 相对误差在5 % 左右
: 多晶硅; 分光光度法; 铁; 铝
:O65732 :A
9999 %( )
1
,
0000 5 %~ 0003 0 % 11
9999 %( ) ,
, , ,
2+
Fe 1, 10,
3+ 2+
Fe Fe p 3~ 5
( ICPAES, ICPMS) 2+
Fe 1, 10,
(GDMS)[ 12] , 510 nm
, p 55~ 61
99% , S
[36]
, , 545 nm
9999 %()
: , 12
; Sp752 ( )
: 100 g/ mL() ,
, 0700 g 1 000 mL
9999 % ,500 mL , 50 mL ,
() 1000 mL; : 100
g/mL( ) , 1756 g
:2010- 01- 25
:/ (2007 Z00052)
:, ,; Email: linfahe@ 163co
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