分光光度法测定多晶硅中铁和铝-Core.PDF

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分光光度法测定多晶硅中铁和铝-Core

,2010,30( 10): 6265 Metallurgical Analysis,2010, 30( 10) :6265 : 1000- 7571(2010) 10- 0062- 04 1 2 2 * 1 , , , ( 1 , 361005; 2 , 361005) :将多晶硅(硅粉) 用氢氟酸和硝酸二次溶解,用高氯酸的二次冒烟去除氟离子对铝的干 扰,用3 cm 的比色皿解 铁低灵敏度带来的误差大的问题使用分光光度法准确测定多晶硅 中铁和铝的含量研究了显色条件对显色反应的影响, 确定最佳实验条件结果表明, 在p 3~ 5 的乙酸乙酸钠缓冲溶液中,铁与5 mL 025 g/L 的1, 10二氮杂菲 10 min 后生成稳定的 红色络合物, 且在2 ~ 10 g/50 mL 范围内服从比尔定律;在p 55~ 61的六次亚甲基四胺 缓冲溶液中,铝与5 mL 03 g/L 的铬天青S 在 15 min 后形成稳定的紫红色络合物, 且在4 ~ 16g/50 mL 范围内服从比尔定律用分光光度法能准确测定纯度为9999%多晶硅(硅粉) 中铁和铝含量, 并与ICPAES 法测试结果对比, 相对误差在5 % 左右 : 多晶硅; 分光光度法; 铁; 铝 :O65732 :A 9999 %( ) 1 , 0000 5 %~ 0003 0 % 11 9999 %( ) , , , , 2+ Fe 1, 10, 3+ 2+ Fe Fe p 3~ 5 ( ICPAES, ICPMS) 2+ Fe 1, 10, (GDMS)[ 12] , 510 nm , p 55~ 61 99% , S [36] , , 545 nm 9999 %() : , 12 ; Sp752 ( ) : 100 g/ mL() , , 0700 g 1 000 mL 9999 % ,500 mL , 50 mL , () 1000 mL; : 100 g/mL( ) , 1756 g :2010- 01- 25 :/ (2007 Z00052) :, ,; Email: linfahe@ 163co

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