双极性脉冲磁控溅射电源设计-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 30 4 Vol.30 No.4 年 月 , 2018 4 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS A r. 2018 p 双极性脉冲磁控溅射电源设计* 1 2 1 2 1 1 李 波 , 李博婷 , 叶 超 , 谭巍巍 , 黄 斌 , 赵 娟 , 2 1 1 1 1 鲁向阳 , 黄宇鹏 , 张 信 , 齐卓筠 , 康传会 ( , ; , ) 1.中国工程物理研究院 流体物理研究所 四川 绵阳 621900 2.北京大学 物理学院 北京 100871 : 。 , 摘 要 双极性脉冲电源是磁控溅射系统中的关键设备之一 根据铌溅射处理装置的技术要求 研制了 、 、 、 一套输出电压 0~800V可调 脉冲宽度 20~200 s可调 频率 0~60Hz可调 脉冲电流最大幅值约 150A的 μ , 。 双极性脉冲电源 分别给出了该电源在水电阻负载和等离子体负载下的实验结果 设计上采用 DSP控制开关 ; , , 电源的方式对储能电容器进行恒流充电 综合应用 FPGA PLC及触摸屏组成人机交互系统 控制输出光脉冲 , 。 , 信号 经负压偏置驱动后使桥式结构的脉冲形成网络产生正负交替双极性脉冲 通过大量实验论证 该电源解 , , 。 决了等离子体负载放电打弧等问题 达到了理想的溅射效果 满足了指标要求 : ; ; ; 关键词 双极性脉冲 桥式脉冲形成网络 等离子体 FPGA 中图分类号: 文献标志码: : / TN86 A doi10.11884HPLPB201830.170393 , , , 磁控溅射是指电子在相互正交的电场和磁场