异质结构的微区C-V特性表征方法的分析.pdfVIP

目录 目 录 第1章 前言1 1.1 研究背景1 1.2 界面表征与微区表征2 1.2.1 界面特性研究方法2 1.2.2 微区表征方法3 1.3 论文主要工作与意义4 第2章 界面特性与微区表征原理6 2.1 异质结界面特性6 2.1.1 能带结构6 2.1.2 二维电子气7 2.1.3 极化对二维电子气的影响7 2.1.4 肖特基结对二维电子气的控制9 2.1.5 异质结 C-V 特性10 2.2 异质结 C-V 法11 2.3 微区 C-V 表征原理11 2.3.1 扫描探针显微镜12 2.3.1.1 扫描压电力显微镜12 2.3.1.2 扫描电容显微镜12 2.3.2 电容测量基本原理13 2.3.3 微小信号提取原理13 第3章 微区测量硬件系统设计17 3.1 系统要求与实现17 3.2 硬件系统的结构18 3.3 硬件系统的功能19 IV 目录 3.3.1 偏移量的测量与 目的19 3.3.2 偏移交流分量的测量与 目的19 3.3.3 针尖电流的测量与 目的20 3.4 低噪微弱电流放大器设计21 3.4.1 电流放大器基本原理21 3.4.2 放大器的噪声22 3.4.3 反馈电阻噪声24 3.4.4 电源噪声25 3.4.5 印制板漏电流与分布电容25 3.4.6 电磁噪声25 3.5 测量平台噪声与杂散电容26 3.5.1 探针的噪声26 3.5.2 压电扫描管的噪声26 3.5.3 杂散电容26 第4章 微区测量软件系统设计29 4.1 软件结构29 4.2 图形界面控制模块29 4.3 数据文件存取模块30 4.4 仪器控制模块31 4.5 随机误差处理模块32 4.6 测量控制模块33 第5章 系统参数测量与计算35 5.1 系统增益测量与计算35 5.2 微区测量系统的噪声测量37 5.3 悬臂形变与电压的比例系数测量与计算39 5.4 针尖几何参数的测量与计算40 5.4.1 针尖F-z与 C-z曲线的测量40 V 目录 5.4.1.1 力曲线与距离的计算40 5.4.1.2 针尖F-z和 C-z曲线的测量41 5.4.2 针尖电容与静电力42 5.4.2.1 半球部分电容43 5.4.2.2 锥形部分电容44 5.4.2.3 悬臂电容44 5.4.2.4 电容与静电力分析45 5.4.3 针尖有效半径的计算48 5.5 微区极化特性的测量49 5.6 本章小结51 第6章 微区 C-V 曲线的测量与分析52 6.1 异质结 C-V 曲线测量52 6.1.1 样品结构52 6.1.2 微区和宏观C-V 曲线测量53 6.2 异质结 C-V 曲线模拟55 6.2.1 自洽计算55 6.2.2 模拟结果56 6.3 本章小结58 第7章 总结59 致 谢60 参考文献61 攻读硕士学位期间取得的研究成果65 VI 第1 章 前言 第1章 前言 1.1 研究背景 异质结由于结两边不同的禁带宽度以及其他特性的不同而具有一系列同质结 所没有的特性。异质结面上形成的高面电子密度和高迁移率的二维电子气使其成 为设计制作高频器件的首选。因此，早在 20 世纪60 年代初期，当晶体管刚刚取 得巨大成功的时候，人们就开始了对异质结的研究，对异质结的能带图、载流子 输运以及异质结的光电特性等提出了各种物理模型并做了理论计算。但是，由于 当时的工艺技术的限制，试验中很难获性能较好的异质结，极大得阻碍了人们对 异质结的研究。 20 世纪70 年代，异质结的生长工艺技术取得了十分巨大的进展