电感耦合等离子体质谱ICP-MS原理及应用-分析测试中心.PDF

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)原理及应用 李巧连 宗文杰 (分析测试中心元素分析组电话：010Email ：liqiaolian@iccas.ac.cn) ~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~ 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS ）是以电感耦合等离子体（ICP ）作为离子 源，以质谱进行检测的一种无机多元素分析技术。自1980年美国Iowa大学的Houk 和Fassel 以及英国Surrey大学的Gray等人联名发表了第一篇ICP-MS可行性文章， 随后1983年第一台商品化ICP-MS 问世，经过三十多年的不断发展，ICP-MS在多 个学科领域都得到了广泛的应用。 下面以四极杆电感耦合等离子体质谱仪为例对仪器的结构及工作原理、技术 特点及应用做简单介绍。 一、仪器结构及工作原理： 电感耦合等离子体质谱仪由以下几部分组成：进样系统（包括蠕动泵、雾化 器、雾化室）、离子源 （包括矩管与射频线圈）、锥（包括采样锥与截取锥）、 离子聚焦系统、碰撞反应池、质量分析器、检测器。此外，仪器中还配置真