大宗气体特气系统介绍.ppt

空压机站内流程图 * TRAINING FOR GAS 2011.5.18 Section 1 气体的类型 Section 2 气体供应方式 Section 3 气体设备 Section 4 尾气处理 Section 5 控制系统 Content Section 6 大众气体输送系统 Section 7 压缩空气(CDA) 气体类型 1,按照气体的使用量分类: (1),大宗气体: (2),特殊气体: 2,按照气体的性质分类: (1),惰性性气体 (2),助燃性气体 (3),易燃性气体 (4),腐蚀性气体 (5),氧化性气体 气体类型 3,按照气体的纯度分类: (1),一般气体: (2),高纯气体: 4,按照气体常温条件下的状态分类: (1),气态气体 (2),液态气体 (3),高压气体 (4),低压气体 1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 现场制造气体 2: Bundle supply: H2,He 集装格供应气体 3: Lorry tank supply: Ar,O2 液体槽车供应气体 4: Gas cylinder supply: Special Gas 钢瓶供应气体 气体供应方式 流量计 Tank Lorry N2 Plant 液态气体储罐 Purity Gas General Gas Outside Of Building Inside Of Building 过滤器 0.02?m, 0.01?m 无尘室 气体纯化器 过滤器 (0.05?m) 过滤器 (0.1?m) 调压器 气化器r 气体供应方式 气体输送系统 特殊气体系统 气体输送系统 特殊气体系统-流程图 特殊气体集中输送系统(BSGS) 气体输送系统 气瓶柜 安全设计 (外壳) 不锈钢 316L VIM/VAR 选用材料符合特殊气体需要 100% 内表面电子抛光 无颗粒 泄漏率: 1 x 10 – 10 Atm-cc/sec (He) PLC 控制 触摸瓶 操作 和 维护方便 全自动循环工艺 自动工艺钢瓶切换 安全选项 联动装置 显示器 : EL Mono or TFT Color 气瓶柜 流程图 Gas Cabinet Flow Diagram A : PROCESS B : PURGE N2 C : GENERAL N2 D : LEAK CHECK He E : EXHAUST 气体分流箱(VMB) 在不用停止供气的条件下增加使用点 降通过减少气瓶柜的数量来降低费用 系统和安全选项类似于气瓶柜 设计简洁 1 X 8 输送 VMB PID ? : Process In ? : Process Out ? : Process Out ? : Process Out ? : Process Out ? : Process Out ? : Process Out ? : Process Out ? : Process Out ? : Purge N2 In ? : Gas In 气体输送系统 ? BSGS (特殊气体集中输送系统) 防止更换钢瓶时,钢瓶接头咬死 持久保持高洁净度: 减小钢瓶内杂质结合的几率. 降低频繁更换钢瓶所涉及的人员成本及项目管理成本. 连续不间断供气 降低污染, 减少维护费用 减少气瓶柜数量以降低成本. 简化二次配管工作 供应量: 0~300 slpm 二次降压: 0~150 psig ± 5psig 系统和安全选项类似于气瓶柜 ? 气体输送系统 尾气处理 Safety Design System Designed with Anti-corrosion Material Easy Operation and Maintenance Low Running Cost High Efficiency PLC Controller Touch Panel Full Auto Cycle Process Safety Option Interlocks Applicable Monitoring System ? ? Dry Scrubber? ? Thermal Wet Scrubber ? Plasma Type ? POU Scrubber Plasma chamber Water chamber Inlet port (4 ports - standard) Touch screen Middle flange Flow controller (N2, Air water) Controller of Gas and Chemical