基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制-计量学报.PDF

第３３卷　第４期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３３，№４ ２０１２年　７月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｊｕｌｙ，２０１２ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１２．０４．０４ 基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制 １ ２ ３ ３ 张志凯 ，　滑晓欣 ，　高　赛 ，　ＫｏｎｒａｄＨｅｒｒｍａｎｎ （１浙江省计量科学研究院，浙江 杭州３１００１３；　２北京博电新力电气股份有限公司，北京 １０００９８； ３德国联邦物理技术研究院，布伦瑞克 Ｄ３８１１６，德国） 摘要：阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器，可同时 满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要，该致动器基于微机电系统，以静电侧向梳齿为基本结构，采用 变间隙设计结构，实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率（ｎＮ量级）和大输出力（大于１ｍＮ），并介绍了该测试系统 的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果。 关键词：计量学；微机电系统；纳牛力致动器；微牛／纳牛拉伸测试；原子力显微镜；静电侧向梳齿 中图分类号：ＴＢ９３　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１２）０４０３０３０５ ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＮａｎｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＳｙｓｔｅｍｏｎ ｔｈｅＢａｓｉｓｏｆＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ １ ２ ３ ３ ＺＨＡＮＧＺｈｉｋａｉ，　ＨＵＡＸｉａｏｘｉｎ，　ＧａｏＳａｉ，　ＫＯＮＲＡＤＨｅｒｒｍａｎｎ （１ＺｈｅｊｉａｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ３１００１３，Ｃｈｉｎａ； ２ＢｅｉｊｉｎｇＰｏｎｏｖｏＰｏｗｅｒＣｏ．ＬＴＤ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００９８，Ｃｈｉｎａ； ３ＰｈｙｓｉｋａｌｉｓｃｈｅＴｅｃｈｎｉｓｃｈｅＢｕｎｄｅｓａｎｓｔａｌｔ，Ｂｒａｕｎｓｃｈｗｅｉｇ，Ｄ３８１１６，Ｇｅｒｍａｎｙ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔａｎｄｔｅｓｔｏｆｎａｎｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｓａｎｄｓｙｓｔｅｍｓｏｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆＭｉｃｒｏ ＥｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ）ｉｓｄｅｓｃｒｉｂｅｄＡＭＥＭＳｂａｓｅｄｎａｎｏｆｏｒｃｅａｃｔｕａｔｏｒｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄ，ｗｈｉｃｈｉｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄｏｎ ｔｈｅｂａｓｉｓｏｆａｎｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｌａｔｅｒａｌｃｏｍｂｄｒｉｖｅ，ｍａｉｎｌｙｆｏｒｕｓｅｉｎｍａｔｅｒｉａｌｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｔｅｎｓｉｌｅｔｅｓｔｉｎｇａｎｄａｔｏｍｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅＩｎｏｒｄｅｒｔｏｉｎｃｒｅａｓｅｔｈｅｏｕｔｐｕｔｆｏｒｃｅ，ａｐｏｓｔｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｇａｐｒｅｄｕｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ，ｓｏｔｈａｔｔｈｅ ｎａｎｏｆｏｒｃｅａｃｔｕａｔｏｒｓｈｏｗｓｓｕｃｈｆｅａｔｕｒｅｓａｓｓｍａｌｌｓｉｚｅ，ｌｏｗｄｒｉｖｅｖｏｌｔａｇｅ，ｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ（ｉｎｔｈｅｏｒｄｅｒｏｆｎＮ）ａｎｄｌａｒｇｅ ａｃｔｕａｔｉｏｎｆｏｒｃｅ（＞１ｍＮ），ｅｔｃＴｈｅｎｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｔｈｅｓｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍｓ，ｔｈｅｄｅｓｉｇｎ，ｔｈｅｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅａｎｄｔｈｅ ａｓｓｅｍｂｌ