压痕位置对多晶铜纳米压痕变形机理的影响-哈尔滨工业大学学报.PDF

第５０卷　 第７期 哈　 尔　 滨　 工　 业　 大　 学　 学　 报 Ｖｏｌ５０ Ｎｏ７ 　 　 ２０ １８年７月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＨＡＲＢＩＮ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ ＯＦ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｊｕｌ． ２０１８ ＤＯＩ：１０．１１９１８／ ｊ．ｉｓｓｎ．０３６７⁃６２３４．２０１７１１０６１ 　 　 　 　 　 　 压痕位置对多晶铜纳米压痕变形机理的影响 赵鹏越，郭永博， 白清顺，张飞虎 （哈尔滨工业大学 精密工程研究所，哈尔滨 １５０００１） － 摘　 要：为研究在纳米压痕过程中微观结构多晶铜力学特性及变形机理的影响机制，采用Ｐｏｉｓｓｏｎ Ｖｏｒｏｎｏｉ和Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ方法建立 大尺度多晶铜分子动力学模型，针对多晶铜不同微观结构分别建立初始压痕位置位于晶粒、晶界面、三叉晶界、顶点团４类微观结构 的纳米压痕模型，采用分子动力学方法模拟计算金刚石探针压入模型的纳米压痕过程，计算４种模型的纳米压痕力及原子的静应力 与第三应力． 采用中心对称参数法分析多晶铜表面及亚表面位错演化对纳米压痕过程的影响． 结果表明：探针对４种微观结构的纳 米压痕过程存在显著的规律性，纳米压痕力的增长速率、纳米压痕过程位错向邻近晶粒扩散的难度、纳米压痕后多晶铜亚表面位错分 布范围、纳米压痕过程中低维数微观结构累积原子势能的难度等均满足降序关系：晶粒、晶界面、三叉晶界、顶点团；压痕位于高维数 微观结构时，其相邻的微观结构呈拉应力；而压痕位于低维数微观结构时，其相邻的微观结构呈压应力．在多晶铜的纳米压痕过程中， 为减少缺陷结构数量及其能量累积，降低材料的残余应力，应针对多晶铜的晶粒进行机械加工并避开顶点团、三叉晶界等微观结构． 关键词：微纳加工；多晶铜；微观拓扑结构；纳米压痕；压痕位置；变形机理；分子动力学 － － － 中图分类号：ＴＢ３１ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７ ６２３４（２０１８）０７ ００１１ ０６ Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ ｐｏｓｉｔｉｏｎ ｏｎ ｔｈｅ ｎａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ ｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｃｏｐｐｅｒ ＺＨＡＯ Ｐｅｎｇｙｕｅ，ＧＵＯ Ｙｏｎｇｂｏ，ＢＡＩ Ｑｉｎｇｓｈｕｎ，ＺＨＡＮＧ Ｆｅｉｈｕ （Ｃｅｎｔｅｒ ｆｏｒ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ，Ｈａｒｂｉｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ １５０００１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ： Ｔｏ ｓｔｕｄｙ ｔｈｅ ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ ｏｎ ｔｈｅ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ａｎｄ ｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｃｏｐｐｅｒ ｄｕｒｉｎｇ ｔｈｅ ｎａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓ， ａ ｌａｒｇｅ⁃ｓｃａｌｅ ｍｏｌｅｃｕｌａｒ ｄｙｎａｍｉｃｓ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｍｏｄｅｌ ｏｆ ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｃｏｐｐｅｒ ｉｓｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｂｙ Ｐｏｉｓｓｏｎ⁃Ｖｏｒｏｎｏｉｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ ｍｅｔｈｏｄ． Ｂａｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｍｉｃｒｏ