奈米技术实习第二次报告实习题目水热法奈米制程TEM检测.PDF

奈米技術實習第二次報告 南台科技大學 機械工程系 微奈米技術組 日四技奈米三乙 實習題目：水熱法奈米製程TEM 檢測 組別:第二組 組長：陳奎丞4A414029 組員：張庭銨4A414012 徐國翔4A414030 陳柏豪4A414035 李俊廷4A414079 實習日期 ：2017 年 10 月 31 日 2017 年 11 月 7 日 2017 年 11 月 21 日 指導老師：李友竹 教授 1 一、緣由 水熱法 : 是一種常用的無機材料的合成方法，在奈米材料、生 物材料和地質材料中具有廣泛的應用。水熱/溶劑熱合 成法的主要步驟是將反應原料配置成溶液在水熱釜中 封裝並加熱至一定的溫度（數百攝氏度）。水熱釜使得 該合成體系維持在一定的壓力範圍內，在這種非平衡態 的合成體系內進行液相反應往往能夠製備出具有特殊 優良性質的材料。 水熱法分類 : 根據加熱溫度，水熱法可以被分為亞臨界水熱合成法 和超臨界水熱合成法。通常在實驗室和工業應用中，水 熱合成的溫度在 100-240℃ ，水熱釜內壓力也控制在較 低的範圍內，這是亞臨界水熱合成法。而為了製備某些 特殊的晶體材料，如人造寶石、彩色石英等，水熱釜被 加熱至 1000℃ ，壓力可達0.3 GPa ，這是超臨界水熱合 成法。 Tio2(二氧化鈦)→水熱法→奈米管產量增加 2 TEM : 穿透式電子顯微鏡 （英語：Transmission electron microscope ，縮寫：TEM 、CTEM ），簡稱透射電鏡 ，是把 經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品 中的原子碰撞而改變方向，從而產生立體角散射。散射角的 大小與樣品的密度、厚度相關，因此可以形成明暗不同的影 像，影像將在放大、聚焦後在成像器件（如螢光屏 、膠片 、 以及感光耦合組件）上顯示出來。 由於電子的德布羅意波長非常短，透射電子顯微鏡的解析 度比光學顯微鏡高的很多，可以達到0.1～0.2nm ，放大倍數 為幾萬～百萬倍。因此，使用穿透式電子顯微鏡可以用於觀 察樣品的精細結構，甚至可以用於觀察僅僅一列原子的結構， 比光學顯微鏡所能夠觀察到的最小的結構小數萬倍。TEM 在 中和物理學和生物學相關的許多科學領域都是重要的分析 方法，如癌症研究 、病毒學 、材料科學 、以及奈米技術 、半 導體研究等等。 在放大倍數較低的時候，TEM 成像的對比度主要是由於材 料不同的厚度和成分造成對電子的吸收不同而造成的。而當 3 放大率倍數較高的時候，複雜的波動作用會造成成像的亮度 的不同，因此需要專業知識來對所得到的像進行分析。通過 使用TEM 不同的模式，可以通過物質的化學特性、晶體方 向、電子結構、樣品造成的電子相移以及通常的對電子吸收 對樣品成像。 第一台TEM 由馬克斯·克諾爾和恩斯特·魯斯卡在1931 年 研製，這個研究組於 1933 年研製了第一台解析度超過可見 光的TEM ，而第一台商用TEM 於1939 年研製成功。 4 二、原理 水熱法奈米製程 : 所謂的水熱法，就是利用水為介質，外加適當的溫度， 在密閉的反應器內產生壓力，進行