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光电位置传感器PSD特性及其应用 第24卷第4-5期 2002年8月 光学仪器 OPTICALINSTRUMENTS Vol_24.No.4-5 August,2002 文章编号:1005—5630(2002)4/5—0030—04 光电位置传感器PSD特性及其应用 曾超，李锋，徐向东 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州310027) 摘要:对光电位置传感器PSD的结构，工作原理，特性进行了分析和概述;并介绍了 PSD在二维定位测量屮的应用;最后分析了造成系统误差的主要原因. 关键词:住置传感器;光屯器件 中图分类号:TP212.14文献标识码:A CharacterisiticsOfOptOelectrOnicpositionsensitivedetectoranditsapplication ZENGChao,LIFeng,xUXiang一dong (StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstrumentation,ZhejiangUniversity,Hangzhou3 10027,China) Abstract:Thearchitecture,principleandcharactersofpositionsensitivedetectorareanalyze dand outlinedinthepaper.TheapplicationofPSDintwo 一 dimensionpositionmeasurementisintroduced.The systemerrorsarealsoanalyzed. Keywords:positionsensitivedetector,optoelectronicdevice 1引言 高灵敏度光电位置传感器PSD(PositionSensitiveDetector)是一种新型的光电器件， 或称为坐标光 电池，它是一种非分割型器件，可将光敏面上的光点位置转化为电信号?当一束光 射到PSD的光敏面上 时，在同一面上的不同电极之间将会有电流流过，这种电压或电流随着光点位置变 化而变化的现象就是半 导体的横向光电效应?因此利用PSD的pn结上的横向光电效应可以来检测入射光 点的照射位置.它不像 传统的硅光电探测器只能作为光电转换，光电耦合，光接收和光强测量等方面的应 用;而能直接用来测量 位置，距离，高度，角度和运动轨迹等?它与阵列式图像传感器也不一样，不像I占I态图 像传感器的测量表而 由于敏感单元有一定大小而存在死区;PSD器件能连线检测光点的位置，没有死区 分辨力高，适配电路简 单等特点;正日益引起人们的重视. 2二维PSD的结构和工作原理 PSD的工作原理基丁横向光电效应，图1显示了其结构.PSD由三层构成，最上一层 是P层,下层是 N层，中间插入一-较厚的高阻I层，形成P-I-N结构，此结构的特点是I层耗尽区 宽，结电容小，光牛载流 子儿乎全部都在I层耗尽区中产生，没有扩散分量的光电流,因此响应速度比普通 pn结光电二极管要快 得多?当PSD表面受到光照射时,在光斑位置处产生比例于光能量的电子一空穴对 流过P层电阻，分别从 设置在P层相对的两个电极上输出光电流?和，由于P层电阻是均匀的，电极输出的 光电流反比于入 ｝收稿 FI 期:2002—06—30 作者简介:曾超（1977 一），男，云南昆明人，硕士研究生，从事光电位置传感器PSD的 应用研究. 第4-5期曾超等:光电位置传感器PSD特性及其应用?31? 射光斑位置到各自电极Z间的距离，光电流和I可以用下面两种方式表示: 当坐标原点选在PSD中心时： —.(L—X/1)/2L 一 I.(L+X/1)/2L 当坐标原点选在PSD 一端时： 一 o(2L—XB)/2L —oXB12L i 一光电流i:八上’ 1!11 一 IIK 一 ￡ L P层 I层 N层 (1) ⑵ (3) ⑷ 图1PSD剖面图 由上式可知,z是光能量(.)与位置的函数;实际应用中,由于光源光功率的波动及光 源与PSD间距离 的变化,1 ?并不是一个恒定值，为了消除I.的影响，通常把输出电流的差与和相除作 为位置检测信号，即： 当坐标原点选在PSD中心时： XA— L(2 — 11)/(2+11)(5) 当坐标原点选在PSD 一端时： XB 一 2LI2/(2+1)(6) 只要检测出和的大小，即可以算出光点所在的位置. 3二维PSD在定位测量中的应用 3.1二维方形PSD器件 二维方形PSD器件在X,Y两个方向上的感光层是独立的，分别感受X,Y方向光点 位置的变化，其 原理示意图如图2所示.基于相同的工作原理，可以导出二维方形PSD器件的位置 参数与电极上的电流 关系表达式（坐标原点为器件屮心）： 5yi 图2二