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·机械制造· 黄健萌，等·微悬臂梁长度对梁末端与底座粗糙面间接触的影响
DOI：10．19344／j．enki．issnl671—5276．2017．06．006
微悬臂梁长度对梁末端与底座粗糙面间接触的影响
黄健萌，陈英
(福州大学机械工程及自动化学院，福建福州350108)
摘要：将磁致伸缩效应等效为材料的热膨胀效应．考虑微梁末端与底座粗糙面微凸体间的相
互作用、材料弹塑性变形及微梁弹性恢复力等影响．利用ABAQUS动态模拟了磁致伸缩薄膜悬
臂梁末端与底座粗糙面间的接触，分析了不同长度悬臂梁对接触特性的影响。结果表明．重复
加卸栽过程中，接触面积、法向接触力随着微梁长度的增加呈近似线性增长．而最大等效塑性
应变值随微梁长度的增加呈非线性关系．说明微梁长度对梁与底座粗糙面间接触特性的影响
十分重要．进而影响到系统5-作的可靠性．
关键词：MEMS器件；磁致伸缩薄膜微悬臂梁；粗糙面；微梁长度；接触特性
中图分类号：THIl7．1文献标志码：A 文章编号：1671．5276(2017)06．0020—05
of onBeamEndandBaseContact
Micro——cantilever
Impact Length
HUANG
Jianmeng．CHENYing
ofMechanical and 350
108，China)
(College EngineeringAutomation，FuzhouUniversity，Fuzhou
effectis astheeffectofthermal ofthe fullconsiderationtotheinter‘
Abstract：Magnelostrictiveregarded expansionmaterial．Giving
actionbetweenthe ofbeamandsubstrate deformationof elasticre—
ending roughsurface，elastic—plasticmaterial，micro—cantilever
usesABAQUSsoftwaretomakethe simulationofthecontactbetweenthe
SOon，this magnetOstrictiVe
coven／and paper dynamic
filmcantileverwithdefferentandsubstrate theinfluenceofits onthecontact．Theresults
surface，andanalyzes lenght
length rough
the ofthe contactareaandthenormalcontactforceincreasewith
showthatwithinthecertain entire
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