基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术.PDF

第 卷 第 期 光 学 学 报 , ３８ 　 ８ Vol．３８ No．８ 　 　 　 年 月 , ２０１８ ８ Auust２０１８ ACTAOPTICASINICA g 基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术 ∗∗ ∗ , , , , , , 陈雨婷 曹益平 陈澄 万莹莹 付光凯 王亚品 王璐 , 四川大学电子信息学院 四川 成都 ６１００６５ ( ). , 摘要 提出了一种基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术 所用的光栅只有 和 两个灰度 消除 　 PMP ０ ２５５ , . 了投影仪的伽玛非线性对正弦光栅灰度的影响 同时可将投影系统的刷新频率提高一个数量级 所提方法的测量 , . 精度高于罗奇光栅离焦投影傅里叶变换轮廓术的 重复精度高于传统正弦光栅 PMP ; ; ; ; ; 关键词 机器视觉 三维测量 二元光栅 不等占空比 滤波 相位测量轮廓术 　 中图分类号 文献标识码 : / 　 TN２７　　　 　A doi１０．３７８８AOS２０１８３８．０８１５０２１ PhaseMeasurementProfilometr BasedonBinar y y GratinswithUneualDut Ccle g q y y ∗∗ ∗ ChenYutin CaoYiin ChenChen g p g g WanYin in FuGuankai Wan Yain Wan Lu gy g g g p g ColleeoElectronicsandInormationEnineerin SichuanUniversit Chendu Sichuan６１００６５ China g f f g g y g A