空心阴极离子镀及其在工具工业.PDF

空心 阴极离子镀及其在工具工业 中的应用 续 小 宫 宗治 日本 根据讲 学 记 录 和 讲 稿 整 理 , 未 经 本 人 审 阅 七、 铬厚膜 的性质 铬膜 表面 的观察 。 在改变基 片 电压 的情况下, 用 法将 铬沉积在纯 的多 晶铁基片上 该膜 的表 面 形貌 。 采用扫描 电子显微镜 进 行观察 〔 〕 为 了在观察膜表面 的同时可 观察膜 的断 裂 面 , 。 以便估算膜 的厚度 , 所 以将样 品弄弯到膜层 断裂后进 行观察 所观察 的 六 个 样 品 的 镀 膜 , , 、 一 、 一 、 一 、 条件为 基 片温度 ℃ 沉 积率 微米 分钟 基片 电压 分别 为。伏 伏 伏 伏 、 。 一 一 , , 伏 。伏 它们 的膜 厚用测厚仪测量 除基片 电压 为零状者外 其余 五个 的膜 厚相 。 、 、 、 、 同 然 而 , 这 五个样品 由 观察膜层 断裂面估算 的膜 厚分别为 微 。 , , , 米 由观察表 明 镀膜 时基 片 电压从零 降到 一 伏时 其表面形貌没 有发生 多大变化 但在 。