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第 20卷 第 11期 电子设计工程 2012年 6月
V0l-20 No．11 ElectronicDesignEngi Jun．20l2
基于PSD的微位移传感器建模的实现方法
丁 硕 ，杨友林 ，巫庆辉
(渤海大学 工学院，辽宁 锦州 121013)
摘要 ：为 了正确反 映基于光 电位置敏感器 (PSD)的微位移传感器的特性 ，首先介绍 了一维光 电位置敏感器的工作原
理并分析 了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理 ．得 出基于PSD的微位移传感器被
测试件位移量与相关测量电路输 出电压 (Js，)关系特征 ，然后基于最小二乘估计算法基本原理 ，提 出了运用 MAT．
LAB语言建立 PSD的微位移传感器 (S，V)关系特征的数学模型的方法 。给 出了建模 的程序流程 图以及仿真结果 。
关键词 ：光电位置敏感器；微位移传感器 ；传感器建模 ；位移测量；MAⅡAB语 言
中图分类号 ：TP391 文献标识码 ：A 文章编号 ：1674—6236(2012)11-0008—04
RealizationofPSD．．basedmicro．．displacementsensormodeling
DINGShuo，YANGYou—lin，wUQing-hui
(CollegeofEn#needng，BohaiUne~i@，Jinzhou121013，China)
Abstract：InordertopropedyreflectthecharacteristicsofPSD-basedmicro-displacementsensor，thispaperbeginswithan
introduction oftheworking principlesofthe one-dimension photoelectric position sensitive detector，and hteworking
principlesofcharacteristicrelationship (S，V)betweenhtedisplacementamountof testedspecimensandhteoutputvoltageof
relativemeasuringcircuitsisalsodescribed．Thenamathematicalmodelingapproachof PSD-basedmicro-displacementsensor
relationfeature (S，V)isproposedbasedonthebasicprinciplesofleastsquaresestimationalgorithm viahtelanguageof
MATLAB，andthemodelingprogramflowchartandthesimulationresultsareprovidedaswel1．
Keywords：PSD；micro—displacementsensor；sensormodeling；displacementmeasuring；MATLABlanguage
非线性特性进行拟合 ，逼近得 出最佳关系 曲线 。 图1PSD结构图
Fig．1 Structurediagram ofthePSD
1 基于PSD的微位移传感器测量原理分析 PSD的等效电路如图2所示
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