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第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
30 5 Vol.30 No.5
年 月 ,
2018 5 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Ma 2018
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光谱共焦三维形貌仪用超大色散线性物镜组设计*
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杨 锐 , 云 宇 , 解 滨 , 王安苏 , 刘子维 , 刘晨星
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1.中国久远高新技术装备公司 北京 100094 2.苏州大学 物理与光电 能源学院 江苏 苏州 215006
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摘 要 光谱共焦三维形貌仪具有精度高 测量范围大 适应性强等特点 其关键部件是产生轴向色散的
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物镜 色散物镜轴向色散与波长间的非线性会导致系统整体性能下降 分析了共焦法检测表面形貌的工作原
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理 以及产生线性轴向色散的条件 根据共焦光学系统的基本设计原理 在预设的设计指标及要求下 完成一个
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超大色散线性物镜组设计 该色散物镜组采用四级串联结构 在 400~700nm光谱范围内达到30mm的色散
, , 。
范围 波长离焦量和波长之间线性度通过线性回归拟合得出判定系数为 满足色散的线性度要求
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关键词 光谱共焦 色散物镜 表面测量 线性色散 光学设计
中图分类号: ; 文献标志码: : /
TP212 O439 A doi10.11884HPLPB201830.170521
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光谱共焦三维形貌仪是近年来快速发展的先进表面测量设备 具有非接触 超大行程和适合各种非透光材
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质 如金属 陶瓷 塑料等 的优点 适用于有缺陷 腐蚀磨损等损伤的表面 对被测表面要求低 对表面性能研究
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