单晶SiC化学机械抛光液的固相催化剂研究-机械工程学报.PDFVIP

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2019-03-29 发布于天津
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单晶SiC化学机械抛光液的固相催化剂研究-机械工程学报.PDF

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第 53 卷第 21 期机械工程学报 Vol.53 No.21 2017 年 11 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Nov. 2 0 1 7 DOI ：10.3901/JME.2017.21.167 * 单晶SiC 化学机械抛光液的固相催化剂研究徐少平路家斌阎秋生宋涛潘继生 (广东工业大学机电工程学院广州 510006) 摘要：针对单晶 SiC 化学机械抛光使用的抛光液，研究了产生芬顿反应 Fe 、FeO 、Fe O 、Fe O 等 4 种铁系固相催化剂的效 2 3 3 4 果。结果发现当 Fe O 作为催化剂时，SiC 表面能够产生明显的化学反应，生成较软易去除的 SiO 氧化层，化学机械抛光时 3 4 2 材料去除率最高达到 17.2 mg/h、表面粗糙度最低达到R 2.5 nm 。相比Fe 、FeO 、Fe O 等固相催化剂，Fe O 更适宜用作 SiC a 2 3 3 4 的化学机械抛光。抛光液中Fe2+离子浓度和稳定性是决定芬顿反应速率和稳定性的重要因素，固相催化剂电离自由 Fe2+ 能力的差异直接影响了化学抛光液中的Fe2+浓度，固相催化剂电离 Fe2+ 的能力越强，抛光液中Fe2+浓度就越高，芬顿反应速率越快，与 SiC 进行化学反应速度越快，材料去除率越高，抛光质量越好。关键词：碳化硅；化学机械抛光；芬顿反应；固相催化剂；去除效率中图分类号：TH161 Solid Catalysts Based on Fenton Reaction for SiC Wafer in Chemical Mechanical Polishing XU Shaoping LU Jiabin YAN Qiusheng SONG Tao PAN Jisheng (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006) Abstract ：Aiming at the CMP solution of single crystal SiC, the catalytic efficiency of Fe-based solid catalysts such as Fe, FeO, Fe O and Fe O are studied. When Fe O is used as the catalyst of Fento