基于全内反射法测量亚表面损伤深度位置的研究-光学工程专业论文.docx

硕士学位论文 硕士学位论文 基于全内反射法测量亚表面损伤深度位置的研究 摘 要 光学元件的亚表面损伤严重影响着光学系统的抗激光损伤阈值和大型光学系统的 成像及镀膜质量、系统的长期稳定性，很大程度上制约了能源、军事、航天等高新技术 科研领域的发展。因此，对光学元件亚表面损伤的控制成为相关领域一项至关重要的技 术。传统光学对亚表面损伤问题的关注极少，随着激光能量的不断提升，只有在高功率 激光领域，对亚表面损伤的控制才越来越受人们的关注。 本文研究了基于全内反射法原理测量光学元件亚表面损伤深度位置信息的一种测 量方法。根据全内反射法测量亚表面损伤缺陷的基本原理，入射光波和反射光波会在样 品内部叠加形成驻波，入射光的偏振状态及入射角度会影响样品内部不同深度处驻波照 明强度的分布，通过分析亚表面损伤点的可见度与入射角度之间的关系，并计算入射角 度改变的差值来估计亚表面损伤的深度。为了凸显亚表面损伤缺陷的形貌，在全内反射 系统的设计中加入了微分干涉系统，并模拟仿真了核心部件诺马斯基棱镜的光轴倾角、 楔角、厚度与棱镜出射光的分束角、光程差、相干平面位置及倾角等参数之间的关系， 完成了匹配全内反射系统的诺马斯基棱镜的设计和加工。搭建全内反射法测量亚表面损 伤的实验装置，利用CCD对样品亚表面损伤进行成像。通过实验分析在入射光不同状 态照明下的损伤图像，对比理论分析的结果，验证用全内反射法测量亚表面损伤深度位 置的可行性，以及诺马斯基棱镜对亚表面损伤图像显示的增强作用。 关键词： 亚表面损伤，全内反射法，驻波，微分干涉，诺马斯基棱镜 万方数据 Abstract Abstract 硕士学位论文 Abstract The subsurface damage of optical component seriously affect the anti．1aser damage threshold of optical system，the image quality of large optical system，and directly reduces its service life，long-term stability，coating quality and long-term stability of the system．The development of the energy，military，aerospace and other Mvanced research fields is largely restricted．Therefore，the control of the surface damage has become a crucial technology in optical fields．But people pay rarely attention to the subsurface damage issues in traditional optical．With the improving of the laser energy，more and more attention is paid to the controlling of subsurface damage only in the field of high-power laser system． In this paper，a method of measuring the subsurface damage depth position is studied， which is based on the principle of total internal reflection．According to basic principle of the total internal reflection method，it analyzes the relationship between the visibility of subsu