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（3）光电导检测器 光电导检测器是利用半导体光电效应的原理制成的，当红外光照射到半导体组件上时，它吸收光子能量后使非导电性的价电子跃迁至高能量的导电带，从而降低了半导体的电阻，引起电导率的改变，又叫半导体检测器或光敏电阻。 （4）热电检测器 热电检测器是基于红外辐射产生热电效应的原理的一类检测器。一类是把多支热电偶串联在一起形成的热电堆检测器；另一类是热晶体管的热释电效应（晶体极化引起表面电荷转移）为机理的热释电检测器。 2.4 红外气体分析仪测量误差分析及仪表调试 2.4.1背景气中干扰组分造成的测量误差 所谓干扰组分就是指与待测组分特征吸收波带有交叉或重迭的其它组分。为了消除干扰组分的干扰，准确检测待测组分的浓度，可采取多种措施，如设置滤波气室、或干涉滤光片，使这些干扰组分特征吸收波带的光在进入测量气室或检测器之前就被吸收掉，只让待测组分特征吸收波带的光通过。 水分干扰：水分广泛存在于工艺气体中，生产状态的变化，预处理运行的变化，环境温度、压力的变化，都会使进入分析仪中的气样的含水量发生变化。水分在1~9μm 波长范围内几乎有连续的吸收带，其吸收带和许多组分特征吸收波带重迭在一起。当两者的吸收波带重迭时，难以消除水分干扰带来的测量误差。 为解决不同组分之间的交叉干扰和重迭干扰， 采用模块化多组分分析仪，模块化多组分分析仪可以同时测量多种气体组分，因此可以通过计算来消除不同组分之间的干扰测量。 2.4.2样品处理过程可能造成的测量误差 检测浓度指标一般是指不含水分的“干气”中的含量，而经过预处理后的气样中水分不可能完全除掉，仍将占有一定的比例。随着预处理运行状况的变化，环境温度、压力的变化，气样中水含量亦随之变化，一些极性较强的组分如CO2、SO2、NO 等，随着水温、气样压力及水气接触时间长短的不同而有不同的溶解度。 对低湿样品进行处理应慎重，因为干燥剂往往同时吸附其它组分，吸附量又易收环境温度压力变化的影响，弄不好反而会增大附加误差。 2.4.3电源频率变化造成的误差 不同型号的红外线分析仪切光频率是不一样的，它们都是通过同步电机经齿轮减速后带动切光片转动。一旦电源频率发生变化，同步电机带动的切光片转动频率也发生变化，切光频率降低时，红外辐射光传到检测器后有利于光能的吸收，有利于提高仪表的灵敏度，但响应时间减慢。切光频率增高时，响应时间增快，但仪器的灵敏度下降。仪表运行时供电频率变化超过仪表规定的范围，灵敏度将发生较大的变化，使仪表输出示值偏离正常示值。要求频率波动不超过±0.5HZ。 2.4.4不正确接地造成的影响 现在的仪表内部通常都不止一个电源，而且有些电源还是相互隔离的，其电源回线即地线根据工作性质不同区分为模拟地、数字地、信号地、保护地等，多种电源及其地线交织在一起，处理不好会引起仪表的测量误差，甚至无法测量。所以仪表或系统的正确、良好接地很重要。 2.4.5环境温度和大气压力变化造成的影响 红外线分析仪检测过程需在恒定的温度下进行。环境温度发生变化将直接影响红外光源的稳定，影响红外辐射的强度，影响测量气室连续流动的气样密度，还将直接影响检测器的正常工作（检测器的输出阻抗下降）。 大气压力在同一个地区、同一天都会有变化，大气压力的变化，对气样放空的流速有直接影响，会使气室中气样的密度发生变化，从而造成附加误差。对一些微量分析或测量精确度要求很高的仪表，可增加大气压力补偿装置，以消除这种影响。 2.4.6样品流速变化造成的影响 样品的流速跟压力是紧密关联的，预处理系统运行中由于堵塞、带液或压力调节系统工作不正常，会造成气样流速不稳定，使气室中的气体密度发生变化，产生测量误差。 为了减少流速波动造成的测量误差，取样点应选择在压力波动较小的地方，预处理系统设置稳压装置，能在压力波动较大条件下正常工作，并能长期稳定运行。 分析尾气放空排放管道不能安装在有背压、风口或易受扰动的环境中，放空排放管道最底点应设置排水阀。最好在检测气室出口设置背压调节阀门或性能稳定的气阻阀，以提高气室背压，减少流速变化对测量的影响，还可以提高仪表的灵敏度 2.4.7仪表的调校 红外线分析仪一般调校内容主要有以下三项。 1）相位平衡调整 相位调整，就是调整切光片轴心位置，使其处在两束红外光的对称点上，要求切光片同时遮挡或同时露出两个光路，即所谓同步。使两个光路作用在检测器气室两侧窗口上的光面积相等。 相位调整的标志就是在仪表的测量气室中通入零点样气（一般为N2）的情况下，使检测器的输出信号最小。 2）光路平衡调整 光路平衡调整，就是调整参比光路上的偏心遮光片（也称挡光板、光闸），以改变参比光路的光通量，使测量、参比两光路的光能量相等。 在调整光路平衡时，在仪表测量气室中通入零点样气，调整装在检测器上的遮光板的位置，遮光