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自自催催化化脉脉冲冲激激光光沉沉积积方方法法制制备备ZnO纳纳米米棒棒阵阵列列
于东麒, 胡礼中, 李娇, 胡昊, 林颂恩, 张 秋, 陈希, 付强 and 乔双双
Citation: 中国科学G辑: 物理学 力学 天文学 39, 367 (2009); doi: 10.1360/2009-39-3-367
View online: http://engine. /doi/10.1360/2009-39-3-367
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Publi hed by the 《中国科学》杂志社
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SCIENCE IN CHINA PRESS
自催化脉冲激光沉积方法制备ZnO纳米棒阵列
①* ① ① ① ② ①* ① ①
于东麒 , 胡礼中 , 李娇 , 胡昊 , 林颂恩 , 张贺秋 , 陈希 , 付强 ,
乔双双①
① 大连理工大学物理与光电工程学院, 大连 116024;
② 美国马里兰大学, 马里兰州大学公园 20742;
* E-mail: useeu@163.com, hqzhang@
收稿日期: 2008-09-10; 接受日期: 2008-10-20
国家自然科学基金(批准号:、辽宁省教育厅重点实验室基金(编号:和高等学校博士专项科研基金(编号: 20070141038)
资助项目
摘要 采用脉冲激光沉积方法在ZnO 作为缓冲层的InP (100)衬底上制备了高密度ZnO 关键词
纳米棒阵列. 扫描电子显微镜图像显示ZnO 缓冲层形成较为均匀的岛状结构, ZnO 纳米 氧化锌
棒具有垂直于衬底的统一生长方向. X 射线衍射测试在 34.46° 出现尖锐的衍射峰, 说明 纳米棒阵列
ZnO 纳米棒具有(002)择优取向. PL 谱在380 nm 出现强的近带边发射峰, 在495 nm 出现 缓冲层
自催化
弱的深能级发射峰, 表明ZnO 纳米棒具有较好的光学性质. 本实验制备的高质量ZnO 纳
脉冲激光沉积
米棒阵列有望在现在和未来的纳米器件制作中得到应用.
近年来, 半导体纳米结构
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