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ISSN 1000 -0054 ( ) 2004 44 1 21/ 36
CN 11-2223/ N J T s in gh ua U niv ( Sci T ech) , 2004 , V o . 44 , N o. 1 81-84
以环形振荡器作为敏感单元的加速度传感器
张兆华, 岳瑞峰, 刘理天
( , 100084)
: 为了解决传感器的数字化, 提出了 一种新的数字加
速度传感器。它是由两 个环形振荡器和一个混 器组成的 ,
率输出型加速度传感器, 其敏感元件是做在硅梁上的M O S ,
环形振荡器。该传感器具有准数字输出、灵敏度高、温度系数
,
低以及制作工艺简单等特点, 其灵敏度可达到6. 9 1 kHz/ g 。
,
分析了环形振荡器的 率特性, 以及环形振荡器谐振 率和
[ 4]
加速度的关系, 设计并分析了加速度传感器的电路及物理结
构, 最后给出了试验结果。这种加速度传感器在军事和民用 1 环形振荡器的基本特性
领域有广阔的应用前景。
1. 1
: 数字加速度传感器; 环形振荡器; 混 器
,
: T P 2 12 : A
: 1000 -0054 ( 2004) 01-00 81-04 [ 5]
,
1
Accelerometer design usingMOS f = 2nP D , ( 1)
P D
ring oscillators : n ; ,
r f , :
ZHANG Zhaohua, YUE Ruifeng, LIU Litian t t
t r + tf
( Institute of Microelectronics, P D = , ( 2)
2
Tsinghua University, Beijing 100084, hina)
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