其它显微分析 1课程实例.pptVIP

扫描隧道显微镜 Scanning Tunnel Microscope * * 扫描隧道显微镜（STM）的基本原理 工作原理：量子隧道效应 STM的工作原理 样品表面与探针的电子云图 * STM有两种工作方式 探针针尖扫描方式：恒流模式和恒高模式。扫描时，一般沿着平面坐标的X-Y两方向作二维扫描。 ① 恒流模式：用电子反馈线路来控制隧道电流I大小不变，于是，探针针尖就会随样品表面的高低起伏运动，从而反映出样品表面的高度信息。可见，用扫描隧道显微镜获得的是样品表面的三维立体信息。 STM恒流模式 恒流模式：获取图象信息全面，显微图象质量高，应用广泛。 可用于观察表面形貌起伏较大的样品；显示导电材料表面的原子排列情况。 * STM有两种工作方式 ② 恒高模式： 若控制针尖在样品表面上扫描，且保持针尖的绝对高度不变；则随着样品表面原子(分子)构成呈凸凹不平状的高低起伏，隧道电流不断变化，将其转换成图像信号显示出来，可得到样品表面的STM显微图像。 恒高度模式 恒高模式： 扫描速度快，但仅适用于样品表面较平坦（起伏1nm）、且组成成分单一(如由同种原子组成)的情形。 * 第十章 其它显微分析方法简介 （1）离子探针分析仪(IMA) ； （2）俄歇电子能谱仪(AES)； （3）X射线光电子能谱仪(XPS)； （4）扫描隧道显微镜(STM) （5）原子力显微镜(AFM)。 离子探针 Ion Microprobe Analyzer * * 电子探针仪优缺点 表面微区成分分析：常用的主要工具仍是电子探针仪。 优点： （1）定量分析的精度较高；对Z10、浓度10％wt的元素，其误差在±5％内。 （2）无损：可重复分析。 缺点： （1）高能电子束对样品的穿透深度和侧向扩展较大，一般达μm级，难以满足薄层表面分析要求。 （2）对Z≤11的轻元素分析困难，因其荧光产额低，特征X射线光子能量小，使其检测灵敏度和定量精度都较差。 * 离子探针仪的基本原理 离子探针仪的基本原理： 利用离子枪将惰性气体电离形成一次离子，通过12-20KV电压加速并聚焦成细小的高能离子束轰击固体样品表面，使样品激发和溅射出正、负二次离子，采用质谱仪对二次离子按质荷比分开，并用探测器测量记录二次离子质谱（强度按质荷比地分布），从而确定固体表面所含元素的种类和数量。 离子探针：学名称二次离子质谱仪（Second Ion Mass Spectroscopy---SIMS）。 * 离子探针仪结构 离子探针仪结构：一次离子光学系统、二次离子分析系统等两部分组成。 图14-1 离子探针仪结构示意图 ① 一次离子光学系统： 离子枪、扇形磁铁、电磁透镜组 功能：形成能量相近的细小束斑的高能离子束 ② 二次离子分析系统： 二次离子引出装置、质谱仪、二次离子探测器 * 一次离子发射系统 由加速电压从表面引出二次离子，二次离子能量为： 图14-1 离子探针仪结构示意图 二次离子进入扇形电场区，径向电场产生的向心力为：Ee=mv2/r’ 离子的轨道半径为： rˊ＝ mv2／Ee 电荷和动能相同、质量未必相同的离子将有同样的偏转 * 由电场偏转后的二次离子，再进入扇形磁场 B（磁分析器）进行第二次聚焦。由磁通产生的洛仑兹力等于向心力： 磁场内离子轨迹的半径 初始能量分散的同种离子（e/m相同）最终可一起聚焦 离子探针质谱分析结果 * 18.5KV的O-离子轰击硅半导体 * 几种表面微区成分分析技术的对比 表14-1 几种表面微区成分分析技术的性能对比 * 离子探针的应用 由于离子探针的特点，目前可应用于诸多方面的分析研究： 1. 表面分析:（包括单分子层的分析），诸如催化、腐蚀、吸附、和扩散等一些表面现象的分析研究。 2. 深度剖面分析：（深度大于50nm的分析），在薄膜分析、扩散和离子注入等研究中，是测定杂质和同位素的深度浓度分布最有效的表面分析工具。 3. 面分析： 通过离子成像法可提供元素横向分布的信息和适当条件下定量信息。目前离子成像已用于研究晶界析出物、冶金和单晶的效应、横向扩散、矿物相的特征以及表面杂质分布等。 4. 微区分析：（小于25μm微区）用于痕量元素分析、杂质分析、空气中悬浮粒子的分析等。 * 离子探针仪在半导体材料方面的应用 离子探针有许多优点，自问世以来在半导体、金属、矿物、环境保护、同位素和催化剂各方面的应用都有很大发展。 离子探针仪在半导体材料方面的应用： 半导体材料纯度高，要求分析区域小，且要求表面和深度分析，因此，离子探针最适合发挥作用的领域。其中有代表性的工作有： 1．表面、界面和体材料的杂质分析： ① 测定材料表面沾污层，表面吸附层，和表面氧化层中